研磨物品、回転往復ツール及び方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：山崎宏 , 田中光雄 , 大畠康
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-554730
公開番号（公開出願番号）：特表2010-522092
出願日： 2008年03月20日
公開日（公表日）： 2010年07月01日
要約：

研磨表面を、ある表面と接触させて回転往復させることによって、前記表面を研磨する方法、回転往復ツール内で用いる研磨物品、及び、ある表面内の欠陥を除去する方法であって、回転往復研磨表面を用いてサンディングしてから、1つ以上のポリッシング作業を行うことを含む方法を開示する。

請求項（抜粋）：

被加工物の表面を研磨する方法であって、付着した研磨粒子を含む研磨表面を備える、駆動ツールのシャフトの上に装着された研磨物品を提供する工程と、前記被加工物の表面を、前記研磨物品の研磨表面と接触させる工程と、前記駆動ツールのシャフトを回転往復させることによって、前記回転軸を中心に前記研磨物品の研磨表面を回転往復させる工程と、を含み、前記回転軸を中心に前記研磨物品の研磨表面を回転往復させながら、前記研磨物品の研磨表面に付着した前記研磨粒子によって、前記被加工物の表面を研磨する方法。

IPC (5件)：

B24B 1/04 , B24D 3/28 , B24B 23/03 , B24B 27/033 , B24D 7/02

FI (5件)：

B24B1/04 D , B24D3/28 , B24B23/03 , B24B27/033 Z , B24D7/02 B

Fターム (21件)：

3C049AA02 , 3C049AA09 , 3C049AA11 , 3C049BC05 , 3C049CB01 , 3C049CB10 , 3C058AA02 , 3C058AA09 , 3C058AA11 , 3C058BC05 , 3C058CB01 , 3C058DB08 , 3C063AB05 , 3C063BC03 , 3C063BF03 , 3C063BF05 , 3C063BG07 , 3C063BH07 , 3C063EE28 , 3C063EE29 , 3C063FF23

引用特許：

審査官引用 (6件)

可搬式研削盤
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-035579 出願人：ファイン-フェルバルツングゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-354431 出願人：上野信
特開昭60-016359

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