検出器と回路の飽和を避けることにより検査システムの熱破損を削減して、検出範囲を拡張するためのシステム、回路、方法

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：山川政樹 , 山川茂樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-521588
公開番号（公開出願番号）：特表2009-501902
出願日： 2006年07月12日
公開日（公表日）： 2009年01月22日
要約：

光電子増倍管(PMT)検出器の測定検出範囲の制限要因として陽極飽和に対処することによって欠陥検出を強化するための検査システム、回路、方法が提供される。検査システムの測定検出範囲の制限要因として増幅器及びアナログ・デジタル回路の飽和レベルに対処することによって欠陥検出を強化するための検査システム、回路及び方法も提供される。加えて、表面検査の走査の間に試料に供給される入射レーザ・ビームパワー・レベルを動的に変更することによって大きな粒子に対する熱破損を削減することにより欠陥検出を強化するための検査システムや回路、方法が提供される。

請求項（抜粋）：

試料を検査するための方法であって、光を前記試料に方向づけるステップと、前記試料から散乱された光を検出するステップであって、光電子増倍管(PMT)の陽極電流を監視するステップと、前記陽極電流が所定の閾値に達するまで前記陽極電流を使用して前記試料のフィーチャ、欠陥、又は光散乱特性を検出し、その後、前記検出のために前記PMTのダイノード電流を使用する検出するステップとを含む、検出するステップとを含む方法。

IPC (3件)：

G01N 21/956 , H01J 43/30 , H03K 17/945

FI (3件)：

G01N21/956 A , H01J43/30 , H03K17/945 K

Fターム (19件)：

2G051AA51 , 2G051BA10 , 2G051BC01 , 2G051CA02 , 2G051CB05 , 2G051CD01 , 2G051EA11 , 2G051EA23 , 2G051EA27 , 2G051EB01 , 5J050AA46 , 5J050AA49 , 5J050BB17 , 5J050BB22 , 5J050DD18 , 5J050EE31 , 5J050EE36 , 5J050EE39 , 5J050FF05

引用特許：

審査官引用 (6件)

光検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-222165 出願人：理学電機株式会社
光量検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-128977 出願人：浜松ホトニクス株式会社
欠陥検査装置および欠陥検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-065077 出願人：株式会社ニコン

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