特許
J-GLOBAL ID：200903013708844870

光学特性測定装置およびフォーカス調整方法

発明者：
藤森 匡嘉

藤森 匡嘉 について

, 
澤村 義巳

澤村 義巳 について

, 
山崎 圭司

山崎 圭司 について


出願人/特許権者：
大塚電子株式会社

大塚電子株式会社 について


代理人 (7件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行 ,  荒川 伸夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-130373
公開番号（公開出願番号）：特開2008-286584
出願日： 2007年05月16日
公開日（公表日）： 2008年11月27日
要約：
【課題】反射像における濃淡差が相対的に小さい被測定物に対するフォーカス合わせをより容易に行なうことのできる光学特性測定装置およびフォーカス調整方法を提供する。【解決手段】観察用光源が発生する観察光のビーム断面の光強度(光量)は、略均一である。マスク部26aがこの観察光の一部をマスクすることで、そのビーム断面においてレチクル像に相当する領域の光強度が略ゼロにされる。このレチクル像に相当する影領域が形成された観察光は、ビームスプリッタ20で反射されて被測定物OBJへ照射される。この被測定物OBJに投射されたレチクル像に対応する反射像の濃淡差(コントラスト)に基づいて、被測定物OBJに対する測定光のフォーカス状態を判断する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
被測定物に対する測定範囲の波長を含む測定光を発生する測定用光源と、 前記被測定物で反射可能な波長を含む観察光を発生する観察用光源と、 前記測定光および前記観察光が入射され、入射された光を集光する集光光学系と、 前記集光光学系と前記被測定物との間の位置関係を変更可能な調整機構と、 前記測定用光源から前記集光光学系までの光学経路上の所定位置において前記観察光を注入する光注入部と、 前記観察用光源から前記光注入部までの光学経路上の所定位置において、観察基準像が投射されるように前記観察光の一部をマスクするマスク部と、 前記被測定物で生じる反射光のうち、測定反射光と観察反射光とを分離する光分離部と、 前記観察反射光に含まれる前記観察基準像に対応する反射像に基づいて、前記被測定物における前記測定光のフォーカス状態を判断するフォーカス状態判断部と、 前記フォーカス状態の判断結果に応じて前記調整機構を制御する位置制御部とを備える、光学特性測定装置。
IPC (4件)：
G01N 21/27 ,  G02B 21/00 ,  G01J 3/36 ,  G01B 11/00
FI (4件)：
G01N21/27 B ,  G02B21/00 ,  G01J3/36 ,  G01B11/00 B
Fターム (55件)：
2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065AA30 ,  2F065BB17 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065GG02 ,  2F065GG21 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL11 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2F065LL42 ,  2F065LL67 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ43 ,  2G020AA03 ,  2G020AA04 ,  2G020AA05 ,  2G020BA18 ,  2G020CB25 ,  2G020CB33 ,  2G020CB42 ,  2G020CB43 ,  2G020CC05 ,  2G020CD03 ,  2G020CD12 ,  2G020CD13 ,  2G020CD24 ,  2G059AA02 ,  2G059BB08 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059FF03 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH03 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059NN06 ,  2H052AB24 ,  2H052AC04 ,  2H052AC27 ,  2H052AD09 ,  2H052AD19 ,  2H052AD34 ,  2H052AF02 ,  2H052AF14
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (8件)
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