特許

J-GLOBAL ID：201003026308929030

テンプレートマッチング用テンプレート作成方法、及びテンプレート作成装置

発明者： 山田 由香利 ,  梁 敬模 ,  角田 純一
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (2件)： 井上 学 ,  戸田 裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-129789
公開番号（公開出願番号）：特開2010-276487
出願日： 2009年05月29日
公開日（公表日）： 2010年12月09日
要約：

【課題】本発明は、プロセス変動等に依らず、高いマッチング精度を安定して確保することが可能なテンプレートマッチング用テンプレート作成方法、及びテンプレート作成装置の提供を目的とする。【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、予め記憶されたテンプレートと、顕微鏡によって取得された画像を比較することによって、所望の位置を特定するテンプレートマッチング用テンプレートの作成方法、及び装置において、テンプレートマッチングによって、特定された個所の画像を複数取得し、当該複数画像を加算平均することによって、新たなテンプレートを作成するテンプレートマッチング用テンプレートの作成方法、及び装置を提案する。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

予め記憶されたテンプレートと、顕微鏡によって取得された画像を比較することによって、所望の位置を特定するテンプレートマッチング用テンプレート作成方法において、 前記顕微鏡にて取得され、前記テンプレートによって特定された個所の複数の画像を加算平均し、当該加算平均に基づいて、新たなテンプレートを作成することを特徴とするテンプレートマッチング用テンプレートの作成方法。

IPC (6件)：

G01B 15/04 ,  G01N 21/956 ,  G01N 21/88 ,  G01N 23/225 ,  H01L 21/66 ,  G06T 7/00

FI (6件)：

G01B15/04 K ,  G01N21/956 A ,  G01N21/88 J ,  G01N23/225 ,  H01L21/66 J ,  G06T7/00 300D

Fターム (34件)：

2F067AA03 ,  2F067BB04 ,  2F067CC17 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067QQ02 ,  2F067RR30 ,  2F067RR35 ,  2F067RR36 ,  2F067RR40 ,  2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001GA12 ,  2G001HA13 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051EB09 ,  2G051ED04 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106CA50 ,  4M106DH12 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096EA07 ,  5L096FA32 ,  5L096HA08 ,  5L096JA09

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 位置検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-116091   出願人：株式会社ニコン
• 半導体チップの外観検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-174117   出願人：松下電工株式会社
• 位置検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-193049   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭59-083280