特許

J-GLOBAL ID：201003029604578765

静電容量型振動センサ

発明者： 笠井 隆 ,  飯田 信行 ,  西尾 英俊
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-218149
公開番号（公開出願番号）：特開2010-056745
出願日： 2008年08月27日
公開日（公表日）： 2010年03月11日
要約：

【課題】キャパシタを構成する可動電極板と固定電極板のうち外側に位置している固定電極板の強度を向上させ、静電容量型センサの耐衝撃性、耐破損性を高める。【解決手段】シリコン基板32に貫通孔などの空洞部36を形成する。振動電極板34は、空洞部36の上方を覆うようにして、シリコン基板32の上面に配置する。固定電極板35は、振動電極板34と微小なギャップを保って振動電極板34の上方を覆っており、周辺部をシリコン基板32の上面に固定されている。固定電極板35の側壁部の外面は、Au、Cr、Pt等の金属からなる補強膜44によって覆われている。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板の上面に配置された可動電極板と、前記可動電極板を覆うようにして前記基板の上面に配置された固定電極板とを備え、前記可動電極板と前記固定電極板との間の静電容量又はその変化によって物理量又はその変化を検知するようにした静電容量型センサにおいて、 前記固定電極板は、空間を介することなく前記基板の上面に固定されている部分の内縁に設けられた側壁部によって、空間を介して前記基板の上面に対向している部分が支持されており、 前記側壁部の少なくとも一部に補強膜が形成されたことを特徴とする静電容量型センサ。

IPC (1件)：

H04R 19/04

FI (1件)：

H04R19/04

Fターム (6件)：

5D021CC01 ,  5D021CC05 ,  5D021CC07 ,  5D021CC10 ,  5D021CC12 ,  5D021CC15

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 小型ブロードバンド変換器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-300831   出願人：ノールズエレクトロニクス,リミテッドライアビリティカンパニー

審査官引用 (2件)

• 音響センサ及び音響センサの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-307727   出願人：三洋電機株式会社
• コンデンサマイクロホンの製造方法、コンデンサマイクロホンおよび電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-003811   出願人：セイコーエプソン株式会社