特許
J-GLOBAL ID:201003030406031058
可変抵抗素子並びにその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
政木 良文
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-309615
公開番号(公開出願番号):特開2010-135541
出願日: 2008年12月04日
公開日(公表日): 2010年06月17日
要約:
【課題】 容易なプロセスで良好なエンデュランス特性を示し、プロセス耐性の高い可変抵抗素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】 第1電極12と第2電極14の間に可変抵抗体13が狭持され、前記両電極の間に電圧パルスが印加されることで前記両電極間の電気抵抗が変化する可変抵抗素子であって、前記可変抵抗体13が、遷移金属を含む材料の酸化物で構成されており、前記第1電極12または前記第2電極14の一方または双方が、金属酸化物からなる金属酸化物電極で構成される。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
第1電極と第2電極の間に可変抵抗体が狭持され、前記両電極の間に電圧パルスが印加されることで前記両電極間の電気抵抗が変化する可変抵抗素子であって、
前記可変抵抗体が、遷移金属を含む材料の酸化物で構成されており、
前記第1電極または前記第2電極の一方または双方が、金属酸化物からなる金属酸化物電極で構成されることを特徴とする可変抵抗素子。
IPC (3件):
H01L 27/10
, H01L 45/00
, H01L 49/00
FI (3件):
H01L27/10 451
, H01L45/00 Z
, H01L49/00 Z
Fターム (7件):
5F083FZ10
, 5F083JA37
, 5F083JA38
, 5F083JA39
, 5F083JA40
, 5F083PR12
, 5F083PR22
引用特許:
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