特許
J-GLOBAL ID:201003035084119290
ブルーレジスト組成物
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
近藤 利英子
, 吉田 勝広
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-256327
公開番号(公開出願番号):特開2010-085833
出願日: 2008年10月01日
公開日(公表日): 2010年04月15日
要約:
【課題】YAGレーザーを用いて、カラーフィルター用青色画素が得られるYAGレーザーで露光硬化する高感度のレジスト組成物を提供すること。【解決手段】クリアレジスト(a)と、青色系顔料(b)と、フッ素系界面活性剤(c)と、式(1)、(2)、(3)で表される化合物から選ばれる少なくとも1種の化合物(z)と活性エネルギー線光重合開始剤とを含有するYAGレーザー重合開始剤(d)とを含有することを特徴とするYAGレーザーで硬化するブルーレジスト組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
クリアレジスト(a)と、青色系顔料(b)と、フッ素系界面活性剤(c)と、下記式(1)、(2)、(3)で表される化合物から選ばれる少なくとも1種の化合物(z)と活性エネルギー線光重合開始剤とを含有するYAGレーザー重合開始剤(d)とを含有することを特徴とするYAGレーザーで硬化するブルーレジスト組成物。
IPC (3件):
G03F 7/031
, G03F 7/004
, G02B 5/20
FI (5件):
G03F7/031
, G03F7/004 505
, G03F7/004 504
, G03F7/004 501
, G02B5/20 101
Fターム (20件):
2H025AA01
, 2H025AB13
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC43
, 2H025CA02
, 2H025CA09
, 2H025CA31
, 2H025CA41
, 2H025CB10
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CC04
, 2H025CC12
, 2H025CC20
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 2H048BA02
, 2H048BA48
, 2H048BB42
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (7件)
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