特許
J-GLOBAL ID：201003036390185635
被処理体処理装置の圧力制御方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
別役 重尚
, 村松 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-048974
公開番号（公開出願番号）：特開2010-135849
出願日： 2010年03月05日
公開日（公表日）： 2010年06月17日
要約：
【課題】複数の処理を効率良く実行可能な真空処理装置の圧力制御方法を提供する。【解決手段】ロードロック室50、COR処理室10、熱処理室30及び大気搬送モジュール70を有する真空処理装置100において、熱処理室30の真空引き中にロードロック室50を大気状態にしてCOR処理前の被処理体を大気搬送モジュール70からロードロック室50に搬入し、熱処理室30の真空引きを終了してロードロック室50を設定圧力まで真空引きし、ロードロック室50が設定圧力に到達したら真空引きを終了し、“ロードロック室内圧力>熱処理室内圧力”となるように熱処理室30を真空引きし、圧力条件が満たされた後にロードロック室50と熱処理室30とを連通させる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
ロードロック室と、被処理体にCOR処理するCOR処理室と、前記COR処理を受けた被処理体に熱処理を施す熱処理室と、前記被処理体を前記ロードロック室との間で搬出入する大気搬送モジュールと、を有する被処理体処理装置の圧力制御方法であって、
前記熱処理室の真空引き中に、前記ロードロック室を大気状態にして前記COR処理前の被処理体を前記大気搬送モジュールから前記ロードロック室に搬入する搬入ステップと、
前記熱処理室の真空引きを終了して前記ロードロック室を設定圧力まで真空引きするロードロック室真空引きステップと、
前記ロードロック室が前記設定圧力に到達した後に当該ロードロック室の真空引きを終了し、“ロードロック室内圧力>熱処理室内圧力”の圧力条件が満たされるように前記熱処理室を真空引きする熱処理室真空引きステップと、
前記圧力条件が満たされた後に、前記ロードロック室と前記熱処理室とを連通させる第1の連通ステップと、を有することを特徴とする被処理体処理装置の圧力制御方法。
IPC (2件)：
H01L 21/677
, H01L 21/302
H01L21/68 A
, H01L21/302 201A
5F004AA09
, 5F004BA20
, 5F004BC06
, 5F004DA00
, 5F004DA20
, 5F004DA22
, 5F004DA23
, 5F004DA25
, 5F031CA02
, 5F031GA45
, 5F031MA13
, 5F031MA28
, 5F031MA30
, 5F031MA32
, 5F031NA04
, 5F031NA05
, 5F031PA23
