特許
J-GLOBAL ID：201003036441904674

振動片および振動子

発明者：
石井 昌宏

石井 昌宏 について

, 
舟川 剛夫

舟川 剛夫 について


出願人/特許権者：
エプソントヨコム株式会社

エプソントヨコム株式会社 について

, 
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-029895
公開番号（公開出願番号）：特開2010-187197
出願日： 2009年02月12日
公開日（公表日）： 2010年08月26日
要約：
【課題】振動片の表裏を利用して配線を配置して、振動片の小型化を容易にする。【解決手段】振動腕11,12,13の厚み方向に対向する第1面16aと第2面16bのうちの第1面16aに設けられた下部電極21,22,23と、下部電極21,22,23の上方に形成された圧電膜31,32,33と、下部電極21,22,23および圧電膜31,32,33の上方に形成された上部電極51,52,53と、下部電極21,22,23および上部電極51,52,53に接続される配線28,58と、を有し、上部電極51,52,53に接続される配線58が振動腕11,12,13を囲むように、振動腕11,12,13の側面を経て振動腕11,12,13の第2面16bに引き出されている。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
3以上の奇数本の振動腕と、前記振動腕が連結される基部と、を備え、前記振動腕が厚 み方向に振動し、かつ隣り合う前記振動腕が互いに反対方向に振動する振動片であって、 前記振動腕の厚み方向に対向する第1面と第2面のうちの前記第1面に設けられた下部 電極と、 前記下部電極の上方に形成された圧電膜と、 前記下部電極および前記圧電膜の上方に形成された上部電極と、 前記下部電極および前記上部電極に接続される配線と、を有し、 前記上部電極に接続される配線が前記振動腕を囲むように、前記振動腕の側面を経て前 記振動腕の前記第2面に引き出されていることを特徴とする振動片。
IPC (4件)：
H03H 9/24 ,  H03H 9/19 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187
FI (6件)：
H03H9/24 Z ,  H03H9/19 L ,  H03H9/19 K ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101D
Fターム (17件)：
5J108AA09 ,  5J108BB02 ,  5J108BB07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC01 ,  5J108CC06 ,  5J108CC08 ,  5J108DD09 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE18 ,  5J108FF02 ,  5J108FF07 ,  5J108FF11 ,  5J108GG03 ,  5J108GG16 ,  5J108KK02
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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