特許
J-GLOBAL ID：200903026974423086

音叉型振動子、発振器

発明者：
舩坂 司

舩坂 司 について

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舟川 剛夫

舟川 剛夫 について

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山崎 隆

山崎 隆 について

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古畑 誠

古畑 誠 について

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藤井 知

藤井 知 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 稲葉 良幸 ,  田中 克郎 ,  大賀 眞司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-163088
公開番号（公開出願番号）：特開2009-005024
出願日： 2007年06月20日
公開日（公表日）： 2009年01月08日
要約：
【課題】温度変化による特性変動の少ない振動子を提供すること。【解決手段】本発明に係る音叉型振動子は、(a)各々が第1方向へ向けて配置された第1面(11a,13a)と当該第1面と対向配置された第2面(11b,13b)とを有し、上記第1方向と交差する第2方向に沿って配列された複数の腕部(11,13)と、(b)上記複数の腕部の各々の上記第1面上に1個ずつ設けられた圧電体素子(15,17)と、(c)上記複数の腕部のそれぞれの一端を連結する基部と、(d)上記複数の腕部の各々の上記第2面上に設けられた無機膜(31,33)と、を含む。そして、上記複数の腕部及び上記基部は、シリコン等の半導体で構成される。上記圧電体素子の各々は、上記第1面上に配置された下部電極膜(15a,17a)と、当該下部電極膜上に配置された圧電体膜(15b,17b)と、当該圧電体膜上に配置された上部電極膜(15c,17c)と、を含む。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
各々が第1方向へ向けて配置された第1面と当該第1面と対向配置された第2面とを有し、前記第1方向と交差する第2方向に沿って配列された複数の腕部と、 前記腕部の各々の前記第1面上に1個ずつ設けられた圧電体素子と、 前記腕部の一端を連結する基部と、 前記腕部の各々の前記第2面上に設けられた無機膜と、 を含み、 前記腕部及び前記基部は、半導体で構成され、 前記圧電体素子の各々は、前記第1面上に配置された下部電極膜と、当該下部電極膜上に配置された圧電体膜と、当該圧電体膜上に配置された上部電極膜と、を含む、 音叉型振動子。
IPC (6件)：
H03H 9/19 ,  H03H 9/02 ,  H03B 5/32 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (8件)：
H03H9/19 J ,  H03H9/02 K ,  H03B5/32 H ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/08 K ,  H01L41/22 Z
Fターム (19件)：
5J079AA04 ,  5J079BA44 ,  5J079FA01 ,  5J079FA14 ,  5J079FB03 ,  5J079GA09 ,  5J079HA22 ,  5J079KA01 ,  5J108AA03 ,  5J108BB02 ,  5J108BB03 ,  5J108BB07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC06 ,  5J108FF01 ,  5J108HH03 ,  5J108HH05 ,  5J108KK01 ,  5J108KK07
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (14件)
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