角速度センサ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-000575
公開番号（公開出願番号）：特開平9-189553
出願日： 1996年01月08日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：

【要約】【課題】圧電振動型角速度センサの大きな問題点であるオフセット温度特性向上のための主要な課題は、第1に振動体と圧電体との間の接着層をなくすことであり、第2に振動体として温度特性の良好な材料を使用することである。【解決手段】振動体の表面に金属または金属酸化物よりなる結合層6を設け、この結合層6上に圧電体層7を設け、この圧電体層7上に表面電極層8を設けた駆動部4および検出部5を構成することにより、振動体として温度特性の良好な非圧電体の選定を可能にし、その表面上での接着によらない圧電体の形成を実現したものである。

請求項（抜粋）：

支持固定部をもつ振動体と、この振動体の表面に形成した金属または金属酸化物よりなる結合層、この結合層の表面に形成した圧電体層、この圧電体層の表面に形成した表面電極層とを含み構成した駆動部および検出部を備えた角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (8件)

圧電素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-358258 出願人：宇部興産株式会社
特開平4-342489
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-113909 出願人：株式会社村田製作所

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