特許
J-GLOBAL ID：200903003990514946

角速度センサ及び電子機器

発明者：
本多 順一

本多 順一 について

, 
稲熊 輝往

稲熊 輝往 について

, 
高橋 和夫

高橋 和夫 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (2件)： 大森 純一 ,  折居 章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-278229
公開番号（公開出願番号）：特開2008-256669
出願日： 2007年10月25日
公開日（公表日）： 2008年10月23日
要約：
【課題】アーム部を支持する基部への振動もれを抑制でき、ノイズに対して強い三音叉型の角速度センサ及び電子機器を提供する。【解決手段】本発明の角速度センサにおいては、3本のアーム部12A〜12Cのうち2本の外側アーム部12A,12Bは同相で励振し、中央アーム部12Cは外側アーム部の振動の反作用によって外側アーム部と逆相で励振する。そして、各アーム部を圧電機能層15A〜15Cの形成面と垂直な方向に励振し、アーム部の上記圧電機能層の形成面と平行な方向の振動に基づいて角速度を検出する。これにより、アーム部間に生じる回転モーメントが相互に打ち消され、基部へ伝達される振動を低減することができる。また、圧電機能層の形成面に対して垂直方向にアーム部を励振することにより、安定した励振状態を維持でき、外乱に強い角速度センサを構成することができる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基部と、 前記基部から一体的にほぼ同一方向へ延出された3本のアーム部と、 前記各アーム部の一表面に形成された圧電膜と、 前記3本のアーム部のうち少なくとも外側に位置する2本のアーム部の前記圧電膜上に形成された励振用の駆動電極と、 前記3本のアーム部のうち少なくとも中央に位置するアーム部の前記圧電膜上に形成された角速度検出用の検出電極とを備え、 前記3本のアーム部のうち外側に位置する2本のアーム部は同相で励振され、中央に位置するアーム部は前記外側に位置する2本のアーム部と逆相で励振されるとともに、 前記駆動電極は、前記アーム部を前記圧電膜の形成面と垂直な第1の方向に励振し、 前記検出電極は、前記アーム部の前記圧電膜の形成面と平行な第2の方向への振動を検出する ことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件)：
G01C19/56 ,  G01P9/04
Fターム (9件)：
2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB03 ,  2F105BB04 ,  2F105BB08 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (13件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM