特許
J-GLOBAL ID：201003040525599890
集積回路の試験装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-008181
公開番号（公開出願番号）：特開2010-164490
出願日： 2009年01月16日
公開日（公表日）： 2010年07月29日
要約：
【課題】 電力不足を補い、電力を効率よく供給して、試験効率を高めることにある。【解決手段】 電気的試験装置は、給電路を備える配線基板及び該配線基板の下側に配置されたセラミック基板であって、給電路に電気的に接続された発熱体を内部に備えるセラミック基板を含むプローブカードと、該プローブカードの上側に配置された板状部材及び配線基板を受けるカードホルダから選択される補助部材と、配線基板に配置された第1の接続部であって、給電路に電気的に接続された第1の端子を有する第1の接続部と、補助部材に配置された第2の接続部であって、第1の端子部に電気的に接続された第2の端子を有する第2の接続部と、第1及び第2の端子を介して電力消費部材に電力を供給する電力消費部材用電力源とを含む。第1及び第2の端子は、互いに上下の関係に位置されている。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
(図5〜10の実施例)
配線基板と、該配線基板の下側に配置されたプローブ基板と、前記配線基板又は前記プローブ基板に配置された電力消費部材とを含むプローブカードと、
該プローブカードの上側に配置された板状部材と、
前記配線基板に配置された第1の接続部であって、前記電力消費部材に電気的に接続された第1の端子を有する第1の接続部と、
前記板状部材に配置された第2の接続部であって、第1の端子部に電気的に接続された第2の端子を有する第2の接続部と、
前記第1及び第2の端子を介して前記電力消費部材に電力を供給する、電力消費部材用電力源とを含み、
前記第1及び第2の端子は、互いに上下の関係に位置されている、集積回路の電気的試験装置。
IPC (3件)：
G01R 31/28
, G01R 1/073
, H01L 21/66
G01R31/28 K
, G01R1/073 E
, H01L21/66 B
2G011AA15
, 2G011AB07
, 2G011AB10
, 2G011AC14
, 2G011AE03
, 2G011AF07
, 2G132AA01
, 2G132AE27
, 2G132AF06
, 2G132AF07
, 2G132AF20
, 2G132AG00
, 2G132AH00
, 2G132AL35
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106BA01
, 4M106CA01
, 4M106DD10
, 4M106DD23
