ポジ型感光性組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (20件)：鈴江武彦 , 蔵田昌俊 , 河野哲 , 中村誠 , 福原淑弘 , 峰隆司 , 白根俊郎 , 村松貞男 , 野河信久 , 幸長保次郎 , 河野直樹 , 砂川克 , 勝村紘 , 河井将次 , 佐藤立志 , 岡田貴志 , 堀内美保子 , 竹内将訓 , 市原卓三 , 山下元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-239108
公開番号（公開出願番号）：特開2010-150234
出願日： 2009年10月16日
公開日（公表日）： 2010年07月08日
要約：

【課題】遠紫外光、EUV、電子線等、特にArFエキシマレーザー光を使用するミクロフォトファブリケ-ション本来の性能向上技術の課題を解決することであり、感度、解像力、露光マージンに優れたポジ型感光性組成物を提供すること。【解決手段】活性光線又は放射線の照射により一般式(I)で表されるスルホン酸を発生する少なくとも1種の化合物、及び酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂を含むことを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】〔式(I)中、X1、X2は互いに独立にフッ素原子、またはフルオロアルキル基を表す。R1は多環構造を有する基を表す。R2は水素原子、鎖式アルキル基、単環式アルキル基、多環構造を有する基、又は単環式アリール基を表し、該鎖式アルキル基、該単環式アルキル基、該単環式アリール基は、置換基を有していてもよい。R1とR2は互いに結合し多環構造を形成していてもよい。〕【選択図】なし

請求項（抜粋）：

活性光線又は放射線の照射により一般式(I)で表されるスルホン酸を発生する少なくとも1種の化合物、及び酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂を含むことを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (6件)：

C07C 309/17 , G03F 7/039 , G03F 7/004 , H01L 21/027 , C07C 381/12 , C07D 215/08

FI (6件)：

C07C309/17 , G03F7/039 601 , G03F7/004 503A , H01L21/30 502R , C07C381/12 , C07D215/08

Fターム (48件)：

2H125AF16P , 2H125AF17P , 2H125AF18P , 2H125AF20P , 2H125AF21P , 2H125AF36P , 2H125AF38P , 2H125AF41P , 2H125AF70P , 2H125AH05 , 2H125AH14 , 2H125AH15 , 2H125AH16 , 2H125AH17 , 2H125AH19 , 2H125AH22 , 2H125AH29 , 2H125AJ04X , 2H125AJ14X , 2H125AJ48X , 2H125AJ65X , 2H125AJ66X , 2H125AJ68X , 2H125AJ69X , 2H125AM09P , 2H125AM86P , 2H125AM99P , 2H125AN31P , 2H125AN38P , 2H125AN39P , 2H125AN42P , 2H125AN45P , 2H125AN54P , 2H125AN62P , 2H125AN64P , 2H125AN65P , 2H125AN86P , 2H125BA01P , 2H125BA32P , 2H125BA33P , 2H125CA12 , 2H125CB09 , 2H125CB12 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 4H006AA01 , 4H006AA03 , 4H006AB92

引用特許：

審査官引用 (3件)

ポジ型感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-132546 出願人：富士写真フイルム株式会社
化学増幅型レジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-323137 出願人：住友化学株式会社
感活性光線または感放射線性樹脂組成物及び該組成物を用いたパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-311431 出願人：富士フイルム株式会社

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