特許
J-GLOBAL ID：201003046679436089
燃焼の監視および制御のための方法と装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
青木 篤
, 鶴田 準一
, 伊坪 公一
, 榎原 正巳
, 小林 龍
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-253750
公開番号（公開出願番号）：特開2010-044088
出願日： 2009年11月05日
公開日（公表日）： 2010年02月25日
要約：
【課題】波長可変ダイオードレーザ吸収分光法(TDLAS)の実現の問題点を克服する。【解決手段】選択されたレーザ発振周波数を有する2つ以上のダイオードレーザ12の出力に光学結合されたマルチプレクサ16が、ピッチ側の光ファイバに光学結合される。多重化レーザ光が、プロセスチャンバ22に関連付けられたピッチ光学部品20にピッチ側光ファイバを通して伝送される。ピッチ光学部品20は、プロセスチャンバの中を通して多重化レーザ出力を放射するように方向配置される。キャッチ光学部品24が、放射された多重化レーザ出力を受け取る。キャッチ光学部品24は、デマルチプレクサ28に多重化レーザ出力を伝送する光ファイバに光学結合される。デマルチプレクサ28はレーザ光を逆多重化し、光の選択されたレーザ発振周波数を検出器25に光学結合し、この検出器は、選択されたレーザ発振周波数の1つに対し感度を有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
検出装置であって、
選択されたレーザ発振周波数を各々が有する2つ以上のダイオードレーザと、
前記ダイオードレーザの2つ以上に光学結合されているマルチプレクサであって、多重化レーザ出力を出力し、かつ、前記多重化レーザ出力はピッチ側光ファイバの近位端部に光学結合されているマルチプレクサと、
前記ピッチ側光ファイバの遠位端部に光学結合されているピッチ光学部品であって、プロセスチャンバに作動的に関連付けられており、および、前記プロセスチャンバの中を通して前記多重化レーザ出力を放射するように方向配置されているピッチ光学部品と、
前記プロセスチャンバの中を通して放射された前記多重化レーザ出力を受け取るために前記ピッチ光学部品に光学的に連絡している、前記プロセスチャンバに作動的に関連付けられているキャッチ光学部品と、
前記キャッチ光学部品に近位端部において光学結合されているキャッチ側光ファイバと、
前記キャッチ側光ファイバの遠位端部に光学結合されているデマルチプレクサであって、前記選択されたレーザ発振周波数の各々のレーザ光を逆多重化するデマルチプレクサと、
前記デマルチプレクサに光学結合されている検出器であって、前記選択されたレーザ発振周波数の1つに対する感度を有する検出器と、
を含み、更に、
前記ダイオードレーザの2つ以上の各々を前記マルチプレクサに対して光学結合する入力光ファイバと、
前記デマルチプレクサの出力を前記検出器に結合する出力光ファイバと、
を含み、前記マルチプレクサは、すべてよりは少ない数の前記ダイオードレーザに光学結合されており、かつ、前記ピッチ側光ファイバの前記遠位端部と非多重化入力光ファイバの遠位端部とに光学結合されている光カプラをさらに含み、前記光カプラは、前記ピッチ側光ファイバからの多重化レーザ光と前記非多重化入力光ファイバからの非多重化レーザ光とを光学結合し、および、前記光カプラは前記ピッチ光学部品に光学的に連絡している、検出装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
2G059AA01
, 2G059AA05
, 2G059BB01
, 2G059CC05
, 2G059EE01
, 2G059EE12
, 2G059GG01
, 2G059HH01
, 2G059JJ05
, 2G059JJ06
, 2G059JJ17
, 2G059JJ22
, 2G059KK01
出願人引用 (9件)
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特開昭61-109014
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特開昭63-173322
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特開昭62-280638
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引用文献：
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