特許
J-GLOBAL ID：201003048537903740
加速度センサー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
栗原 浩之
, 村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-030161
公開番号（公開出願番号）：特開2010-185781
出願日： 2009年02月12日
公開日（公表日）： 2010年08月26日
要約：
【課題】 小型化に適した電気的および機械的に安定なピエゾ抵抗素子型加速度センサーを提供する。【解決手段】 枠部と、可撓部と、該可撓部を介して枠部に保持される錘部と、可撓部に設けられたピエゾ抵抗素子と枠部に設けられたチップ端子とを接続する金属配線および高濃度拡散層を構成要素に持ち、直交する3つの加速度検出軸毎に前記ピエゾ抵抗素子と金属配線と高濃度拡散層で構成されるブリッジ回路を有する加速度センサー素子を有するピエゾ抵抗素子型3軸加速度センサーあって、ピエゾ抵抗素子上に第2の絶縁膜を介してシールド配線が配置されており、該シールド配線は前記金属配線の一部としてブリッジ回路の一部を構成している。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
枠部と、可撓部と、前記可撓部を介して枠部に保持される錘部を有し、
可撓部に設けられたピエゾ抵抗素子と枠部に設けられたチップ端子の接続に用いる金属
配線および高濃度拡散層を有し、
直交する3つの加速度検出軸毎に、前記ピエゾ抵抗素子と金属配線と高濃度拡散層で構
成されるブリッジ回路を有する加速度センサーあって、
ピエゾ抵抗素子上に絶縁膜を介してシールド配線が配置されており、前記シールド配線
は前記金属配線の一部としてブリッジ回路の一部を構成していることを特徴とする加速度
センサー。
IPC (3件)：
G01P 15/12
, G01P 15/18
, H01L 29/84
G01P15/12 D
, G01P15/00 K
, H01L29/84 A
4M112AA02
, 4M112BA01
, 4M112CA21
, 4M112CA24
, 4M112CA27
, 4M112CA33
, 4M112DA03
, 4M112DA04
, 4M112DA09
, 4M112DA10
, 4M112DA16
, 4M112DA18
, 4M112EA02
, 4M112EA06
, 4M112EA07
, 4M112EA10
, 4M112EA11
, 4M112FA20
