特許

J-GLOBAL ID：201003052846303118

基板移送装置

発明者： キョン ナム,イ ,  チェ シク,チャン ,  スン ピル,パク
出願人/特許権者： エスエフエー エンジニアリング コーポレーション
代理人 (1件)： 特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-264038
公開番号（公開出願番号）：特開2010-123970
出願日： 2009年11月19日
公開日（公表日）： 2010年06月03日
要約：

【課題】基板移送装置を提供する。【解決手段】地面に対して平行に配される基板の少なくとも一領域を把持して、基板を強制に移送させる把持移送ユニットと、把持移送ユニットに隣接して配されて、基板を移送可能に支持する補助移送ユニットと、を含むことを特徴とする基板移送装置。本発明によれば、ノイズ発生及びパーティクルの発生を減らし、従来より効率的な構造で製作することができ、また基板に対する高速移送が可能である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

地面に対して平行に配される基板の少なくとも一領域を把持して、前記基板を強制に移送させる把持移送ユニットと、 前記把持移送ユニットに隣接して配されて、前記基板を移送可能に支持する補助移送ユニットと、 を含むことを特徴とする基板移送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/677 ,  B65G 49/06

FI (2件)：

H01L21/68 A ,  B65G49/06 A

Fターム (12件)：

5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031FA18 ,  5F031GA24 ,  5F031GA26 ,  5F031GA51 ,  5F031GA63 ,  5F031PA18 ,  5F031PA20 ,  5F031PA23

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-351688   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 直線駆動装置およびそれを備えた基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-152712   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 太陽電池セルの搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-351010   出願人：トヤマキカイ株式会社
• 吸着保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-141223   出願人：トヨタ自動車株式会社