特許
J-GLOBAL ID：201003059833547756

荷電粒子線装置

発明者：
水落 真樹

水落 真樹 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： 春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-294972
公開番号（公開出願番号）：特開2010-123354
出願日： 2008年11月18日
公開日（公表日）： 2010年06月03日
要約：
【課題】荷電粒子線の偏向量を抑えて観察像の像質を向上させることができる荷電粒子線装置及びその観察位置合わせ方法を提供する。【解決手段】ベース40上を水平移動可能な粗動機構と、粗動機構上を水平移動可能な微動機構と、微動機構上に設けたトップテーブル43と、ビーム偏向量に対して観察像の要求画質に応じて設定された許容範囲を記憶した記憶部73Bと、撮像対象が観察領域に入るように粗動機構を制御する粗動機構制御部72Aと、撮像対象を含む低倍率の観察像の中心と撮像対象との座標ずれ量を算出するずれ量算出部73Dと、座標ずれ量が許容範囲内か否かを判断する判断部73Eと、座標ずれ量が小さくなるように微動機構を制御する微動機構制御部72Bと、座標ずれ量が許容範囲内の場合に座標ずれ量だけビーム偏向量を補正する偏向補正制御部70Aとを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ベースと、 前記ベース上を少なくとも水平面に沿って移動可能な粗動機構と、 前記粗動機構上を少なくとも水平面に沿って移動可能な微動機構と、 前記微動機構上に設けた試料ステージと、 前記試料ステージの位置を計測する測長器と、 荷電粒子線を出射する荷電粒子銃と、 前記荷電粒子銃からの荷電粒子線を偏向させる偏向器と、 前記試料ステージ上の試料からの放出粒子を検出する粒子検出器と、 前記粒子検出器の信号を基に観察像を生成する画像生成部と、 前記偏向器によるビーム偏向量に対して観察像の要求画質に応じて設定された許容範囲を記憶した記憶部と、 前記試料ステージ上の試料内の撮像対象が観察領域に入るように前記測長器の信号を基に前記粗動機構を制御する粗動機構制御部と、 前記撮像対象を含む低倍率の観察像の中心と撮像対象との座標ずれ量を算出するずれ量算出部と、 前記座標ずれ量が前記許容範囲内か否かを判断する判断部と、 前記座標ずれ量が小さくなるように前記測長器の信号を基に前記微動機構を制御する微動機構制御部と、 前記座標ずれ量が前記許容範囲内と判定された場合に、前記偏向器を制御して前記座標ずれ量だけビーム偏向量を補正する偏向補正制御部と を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (4件)：
H01J 37/22 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/20 ,  G01B 15/00
FI (4件)：
H01J37/22 502H ,  H01J37/147 B ,  H01J37/20 D ,  G01B15/00 K
Fターム (20件)：
2F067AA13 ,  2F067AA21 ,  2F067AA45 ,  2F067BB04 ,  2F067CC17 ,  2F067EE04 ,  2F067HH06 ,  2F067HH13 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067KK08 ,  2F067PP12 ,  2F067QQ02 ,  2F067SS02 ,  2F067SS13 ,  5C001AA03 ,  5C001CC04 ,  5C001DD03 ,  5C033FF06 ,  5C033FF10
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特公昭58-5954公報
審査官引用 (8件)
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