特許

J-GLOBAL ID：201003060956653346

金型排出装置

発明者： クロックナー ダニエル ,  クスター ローラント ,  メーレマン イヴェス ,  ウーベン マッティアス
出願人/特許権者： エセック アーゲー
代理人 (1件)： ▲吉▼川 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-010229
公開番号（公開出願番号）：特開2010-171426
出願日： 2010年01月20日
公開日（公表日）： 2010年08月05日
要約：

【課題】異なる半導体チップを僅かな部品を置換することで掴むことが出来る金型排出装置を提供する。【解決手段】金型排出装置は、溝2を有する底板1と、底板上に設置されるテーブル板3とを備える。テーブル板は底板の溝2に平行に走る溝4を有し、箔から取り外される半導体チップの幅に適合される。真空にされるチャネルは、底板の溝又はテーブル板の溝に対して開かれる。2つの偏向ローラ9は底板の溝の両端で、底板の下に設置される。底板の溝より広く、2つの偏向ローラの周りに誘導される駆動ベルト11は、底板の溝を封止する。スライド13は底板の溝内に設置され、駆動ベルト上に固定される。モータ12は駆動ベルトを前後に移動させる。その幅がテーブル板の溝の幅に等しいスライド板14は、スライド上に取り外し可能に固定することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

溝(2)を有する底板(1)、 底板(1)上に設置され、底板(1)の溝(2)に平行に走る溝(4)を有するテーブル板(3)、 真空にされ、底板(1)の溝(2)またはテーブル板(3)の溝(4)に向かって開くチャネル(8)、 底板(1)の溝(2)の両端で底板(1)の下に設置される2つの偏向ローラ(9,10)、 底板(1)の溝(2)より広く、二つの偏向ローラ(9,10)の周りに誘導されることにより、駆動ベルト(11)が底板(1)の溝(2)を封止する駆動ベルト(11)、 駆動ベルト(11)を前後に移動させるためのモータ(12)、 スライド(13)用ガイドを形成する底板(1)の溝(2)に設置され、駆動ベルト(11)上に固定されるスライド(13)、および スライド(13)上に除去可能に固定することができ、その幅が、1つの単一板又は多くの板から構成されるテーブル板(3)の溝(4)の幅に等しく、底板(1)とテーブル板(3)は別々の板から、または単一片の材料から形成される、スライド板(14)、を備える金型排出装置。

IPC (1件)：

H01L 21/52

FI (1件)：

H01L21/52 F

Fターム (1件)：

5F047FA01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 半導体チップの分離装置及び分離方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-137797   出願人：エーエスエム・アセンブリー・オートメーション・リミテッド
• 半導体チップのピックアップ装置及びピックアップ方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-000584   出願人：芝浦メカトロニクス株式会社
• 半導体チップをフォイルから取り外す方法、及び半導体チップを実装するための装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-114075   出願人：ユナクシスインターナショナルトレーディングリミテッド
• ダイのピックアップ方法及びピックアップ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-069919   出願人：株式会社新川