特許
J-GLOBAL ID：201003062261196311

ウエハの保護膜形成方法

発明者：
福家 直仁

福家 直仁 について

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馬場 大三

馬場 大三 について

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高下 博光

高下 博光 について


出願人/特許権者：
パナソニック電工株式会社

パナソニック電工株式会社 について


代理人 (2件)： 西川 惠清 ,  森 厚夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-255411
公開番号（公開出願番号）：特開2010-087279
出願日： 2008年09月30日
公開日（公表日）： 2010年04月15日
要約：
【課題】反りの発生を防止しつつ、ウエハのノッチ部分には保護膜を形成しないで、ノッチ以外の部分には保護膜を形成することができるウエハの保護膜形成方法を提供する。【解決手段】キャリア材1の表面に半硬化状態のエポキシ樹脂シート2を設けることによって形成されたシート材3のエポキシ樹脂シート2を、ノッチ4が設けられたウエハ5の表面に重ねてシート材3を貼り合わせる工程と、前記キャリア材1を剥離してエポキシ樹脂シート2でウエハ5の表面に保護膜6を形成する工程とを有するウエハの保護膜形成方法に関する。前記シート材として、25±2°Cの環境下において10mm/分の速度でキャリア材1からエポキシ樹脂シート2を破断するまで引っ張って剥離する引張試験を行った場合にエポキシ樹脂シート2の伸びが0〜150%であり、かつ、キャリア材1とエポキシ樹脂シート2との密着力が0.001〜0.2kN/mであるものを用いる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
キャリア材の表面にエポキシ樹脂及び充填材を含有するエポキシ樹脂組成物を溶剤で希釈したものを塗布し、これを加熱乾燥して半硬化状態のエポキシ樹脂シートを設けることによって形成されたシート材のエポキシ樹脂シートを、ノッチが設けられたウエハの表面に重ねてシート材を貼り合わせる工程と、前記キャリア材を剥離してエポキシ樹脂シートでウエハの表面に保護膜を形成する工程とを有するウエハの保護膜形成方法であって、前記シート材として、25±2°Cの環境下において10mm/分の速度でキャリア材からエポキシ樹脂シートを破断するまで引っ張って剥離する引張試験を行った場合にエポキシ樹脂シートの伸び({(破断時のエポキシ樹脂シートの長さ-引張試験開始時のエポキシ樹脂シートの長さ)/引張試験開始時のエポキシ樹脂シートの長さ}×100)が0〜150%であり、かつ、キャリア材とエポキシ樹脂シートとの密着力が0.001〜0.2kN/mであるものを用いることを特徴とするウエハの保護膜形成方法。
IPC (2件)：
H01L 21/02 ,  B32B 27/38
FI (3件)：
H01L21/02 C ,  B32B27/38 ,  H01L21/02 A
Fターム (31件)：
4F100AA20B ,  4F100AK25B ,  4F100AK42 ,  4F100AK52 ,  4F100AK52B ,  4F100AK53B ,  4F100AR00A ,  4F100AT00C ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100CA23B ,  4F100DB01C ,  4F100DD07A ,  4F100EH46B ,  4F100EJ42B ,  4F100GB43 ,  4F100JA02 ,  4F100JA04B ,  4F100JK06A ,  4F100JK06B ,  4F100JK08B ,  4F100JK15 ,  4F100JL00B ,  4F100JL04 ,  4F100JL06 ,  4F100JL14A ,  4F100JN21 ,  4F100JN30 ,  4F100YY00B
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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