特許
J-GLOBAL ID：201003065953574889

分光検出方法及びその装置並びにそれを用いた欠陥検査方法及びその装置

発明者：
廣瀬 丈師

廣瀬 丈師 について

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▲吉▼田 実

▲吉▼田 実 について

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笹澤 秀明

笹澤 秀明 について

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吉武 康裕

吉武 康裕 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (2件)： 井上 学 ,  戸田 裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-007160
公開番号（公開出願番号）：特開2010-164438
出願日： 2009年01月16日
公開日（公表日）： 2010年07月29日
要約：
【課題】 分光検出手法を用いて検査対象表面に一様に形成された繰り返しパターンの形状を検出するには、分光検出する波長範囲が、短い波長領域に広いことが有利である。しかし、短い波長領域すなわち紫外領域を含む広い波長範囲で分光検出可能な光学系を比較的簡単な構成で実現することは容易ではない。【解決手段】 パターン欠陥を検査する装置を、ハーフミラーとして空間的に部分的なミラーを用い、また検査対象へ光の照射および検査対象からの反射光の検出の角度及び方向を制限するための開口絞りを反射型対物レンズ内に設置することにより、深紫外から近赤外までの波長帯域で検出可能な分光検出光学系を備えて構成した。【選択図】 図17
請求項（抜粋）：
紫外光を含む波長の光を出射する光源と、光を透過する部分と光を反射する部分とを有して前記光源から出射した光を前記反射する部分で反射して前記光の光路を切替える光路切替え手段と、該光路切替え手段で光路を切替えられた光を試料の表面に集光して照射する反射型対物レンズ手段と、該反射型対物レンズ手段により前記試料表面に照射された光による前記試料からの反射光で前記反射型対物レンズ手段で集光されて前記光路切替え手段の光を透過する部分を透過した反射光を分光して検出する分光検出手段とを備えたことを特徴とする分光検出光学系。
IPC (2件)：
G01N 21/95 ,  G01B 11/30
FI (2件)：
G01N21/95 A ,  G01B11/30 A
Fターム (29件)：
2F065AA49 ,  2F065GG21 ,  2F065LL04 ,  2F065LL28 ,  2F065LL67 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ00 ,  2G051AA51 ,  2G051AA71 ,  2G051AB02 ,  2G051BA05 ,  2G051BA06 ,  2G051BA08 ,  2G051BA11 ,  2G051BB03 ,  2G051BB09 ,  2G051BB11 ,  2G051BB17 ,  2G051BC07 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CC11 ,  2G051CC15 ,  2G051CC17 ,  2G051CD06 ,  2G051DA07 ,  2G051EA12 ,  2G051EB01
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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