特許
J-GLOBAL ID：200903066065353764

ハーフミラーおよびそれを使用した顕微分光測定装置

発明者：
王 政

王 政 について

, 
鄭曉東

鄭曉東 について


出願人/特許権者：
株式会社渋谷光学

株式会社渋谷光学 について


代理人 (2件)： 井出 直孝 ,  下平 俊直
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-110980
公開番号（公開出願番号）：特開2007-285761
出願日： 2006年04月13日
公開日（公表日）： 2007年11月01日
要約：
【課題】 光の透過率が高いハーフミラーを提供する。また、N/Sを改善して光学薄膜や半導体等の薄膜の膜厚あるいは複素屈折率を測定できる分光測定装置を提供する。【解決手段】 反射部分と透過部分とを光軸を対称として形成し、反射部分で反射された光束が透過部分を透過するようにし、反射光と透過光とがほぼ半分の比率になるようにする。このハーフミラーを顕微分光測定装置のハーフミラーとして用い、照射光学系から投影された光束のほぼ半分が反射あるいは透過して測定試料に照射され、測定試料に投射された光束の反射光のほぼ半分がハーフミラーを透過あるいは反射して測定系に導入される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
反射部分と透過部分とが光軸を点対称として形成され、前記反射部分および前記透過部分は、それぞれ奇数個であるハーフミラー。
IPC (3件)：
G01N 21/27 ,  G01J 3/42 ,  G02B 21/00
FI (4件)：
G01N21/27 E ,  G01J3/42 Z ,  G01N21/27 B ,  G02B21/00
Fターム (24件)：
2G020AA04 ,  2G020CA17 ,  2G020CB43 ,  2G020CC01 ,  2G020CD12 ,  2G020CD22 ,  2G059AA02 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059FF03 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2H052AB17 ,  2H052AB21 ,  2H052AB24 ,  2H052AC27 ,  2H052AC29 ,  2H052AF02 ,  2H052AF14 ,  2H052BA02 ,  2H052BA07
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 薄膜測定器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-144411   出願人：オリンパス光学工業株式会社
  • 分光反射率測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-262828   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
審査官引用 (7件)
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