特許
J-GLOBAL ID:201003067669910936
導電回路の形成方法
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
細井 勇
, 中 敦士
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-253312
公開番号(公開出願番号):特開2010-135776
出願日: 2009年11月04日
公開日(公表日): 2010年06月17日
要約:
【課題】金属微粒子分散液を基板上に回路状にパターニングして、加熱焼成により導電性の高い導電回路を形成する方法を提供する。【解決手段】導電回路(B)の形成方法であって、金属微粒子分散液を用いて基板上に回路状にパターニングした後、加熱乾燥して回路前躯体(A)を形成する工程1と、液状の還元剤(C)により該回路前躯体(A)の表面コーティングを行い、還元性ガス雰囲気中、又は還元性ガスと不活性ガス雰囲気中で該回路前躯体(A)を加熱焼成して導電回路(B)を形成する工程2、を含む工程から形成されることを特徴とする導電回路の形成方法。【選択図】なし
請求項(抜粋):
導電回路(B)の形成方法であって、金属微粒子分散液を用いて基板上に回路状にパターニングした後、加熱乾燥して回路前躯体(A)を形成する工程1と、液状の還元剤(C)により該回路前躯体(A)の表面コーティングを行い、還元性ガス雰囲気中、又は還元性ガスと不活性ガス雰囲気中で該回路前躯体(A)を加熱焼成して導電回路(B)を形成する工程2、を含む工程から形成されることを特徴とする導電回路の形成方法。
IPC (5件):
H05K 3/12
, H01B 13/00
, B22F 1/00
, B22F 7/04
, B22F 3/10
FI (7件):
H05K3/12 610D
, H01B13/00 503D
, B22F1/00 M
, B22F1/00 L
, B22F1/00 K
, B22F7/04 D
, B22F3/10 F
Fターム (33件):
4K018AA02
, 4K018AA03
, 4K018AA07
, 4K018AA10
, 4K018BA01
, 4K018BA02
, 4K018BA04
, 4K018BB05
, 4K018BD04
, 4K018CA33
, 4K018DA21
, 4K018DA31
, 4K018JA22
, 4K018KA33
, 5E343AA02
, 5E343AA26
, 5E343BB23
, 5E343BB24
, 5E343BB25
, 5E343BB44
, 5E343BB45
, 5E343BB71
, 5E343CC22
, 5E343DD01
, 5E343DD02
, 5E343DD03
, 5E343DD12
, 5E343EE52
, 5E343ER37
, 5E343ER38
, 5E343GG11
, 5G323CA03
, 5G323CA05
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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