特許

J-GLOBAL ID：201003067860386007

ボロメータ検出器の製造方法

発明者： ジャン-ルイ、ウブリエ-ビュフェ ,  クリストフ、デュバリ ,  ローラン、ピュエシュ
出願人/特許権者： コミサリア、ア、レネルジ、アトミク、エ、オ、エネルジ、アルテルナティブ
代理人 (5件)： 勝沼 宏仁 ,  橘谷 英俊 ,  佐藤 泰和 ,  吉元 弘 ,  川崎 康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-009001
公開番号（公開出願番号）：特開2010-181405
出願日： 2010年01月19日
公開日（公表日）： 2010年08月19日
要約：

【課題】容易に実施でき、かつ費用のかからない産業化可能な製造方法を用いて、良好な感度を有し、信号対雑音比の点で最適化された機能的なボロメータ検出器を実現する。【解決手段】固着点によって基板に固定された断熱アームを用いて基板の上方に浮かされた膜(1)を装備したボロメータ検出器を製造するため設計された方法である。膜(1)は、少なくとも半導体性酸化鉄を含む塩基を備えた熱に敏感な薄層(9)を有する。この方法は、半導体性酸化鉄の薄層(9)の一部の鉄原子の酸化の程度を変更するために半導体性酸化鉄の薄層(9)の局所還元及び/又は酸化の工程を少なくとも含む。【選択図】図11

請求項（抜粋）：

固着点(4)を介して基板(2)に固定された断熱アーム(3)を用いて前記基板(2)の上方に浮かされ、熱に敏感な半導体性酸化鉄の薄層(9)を有する膜(1)を装備したボロメータ検出器を製造する方法であって、 前記半導体性酸化鉄の薄層(9)の一部の鉄原子の酸化の程度を変更するために、前記半導体性酸化鉄の薄層(9)を局所還元及び/又は酸化する工程を少なくとも1つ備えることを特徴とするボロメータ検出器を製造する方法。

IPC (2件)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/20

FI (2件)：

G01J1/02 C ,  G01J5/20 B

Fターム (5件)：

2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G066BA09 ,  2G066BA55

引用特許：

審査官引用 (4件)

• スイッチを備えたアンテナを有するボロメータ検出器、及び、同ボロメータ検出器を備えたイメージ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-343296   出願人：コミサリアアレネルジアトミク
• 赤外線センサ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-049492   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所, 日本電気株式会社
• 抵抗変化材料の製造方法およびセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-111170   出願人：松下電器産業株式会社
• ボロメーター赤外線検出装置用の感光材料としてのスピネル型フェライトの使用
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2006-544519   出願人：ユニヴェルシテポールサバティエ(トゥールーズIII), サントル・ナシヨナル・ド・ラ・ルシエルシエ・シヤンテイフイツク, コミッサリヤアレネルジーアトミック

引用文献：

審査官引用 (1件)

• “α-Fe2O3 Ceramics as Negative Temperature Coefficient Thermistors”