特許

J-GLOBAL ID：201003069415255493

真空ポンプ装置で自己点火する粉塵を反応させるための方法

発明者： ゾーリッグ,ウーヴェ ,  ドライフェルト,トーマス
出願人/特許権者： オーリコン レイボルド バキューム ゲーエムベーハー
代理人 (2件)： 河野 登夫 ,  河野 英仁
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-525006
公開番号（公開出願番号）：特表2010-501766
出願日： 2007年08月07日
公開日（公表日）： 2010年01月21日
要約：

【解決手段】場合によっては反応性粒子(40)を含む処理ガス(38)が真空ポンプ装置に吸い込まれる。空気又は純酸素の状態の酸素が、酸素吸込口(26,26a,26b)を介して真空ポンプ装置に制御された方法で供給される。従って、突発的な通気の場合に粉塵が自己点火できないように、制御された酸化が圧縮室(24)で行なわれる。

請求項（抜粋）：

ドライ真空ポンプ装置で自己点火する粉塵を完全に反応させるための方法において、 前記真空ポンプ装置の作動中に、酸素を前記真空ポンプ装置に一回分ずつに分けて連続的に供給し、それによって前記粉塵(40)の酸化を生じさせることを特徴とする方法。

IPC (2件)：

F04C 28/28 ,  F04C 25/02

FI (2件)：

F04C28/28 B ,  F04C25/02 M

Fターム (12件)：

3H129AA03 ,  3H129AA15 ,  3H129AB01 ,  3H129AB06 ,  3H129BB53 ,  3H129BB60 ,  3H129CC14 ,  3H129CC16 ,  3H129CC24 ,  3H129CC35 ,  3H129CC54 ,  3H129CC83

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 単結晶製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-350039   出願人：信越半導体株式会社
• 燃焼性の冶金粉末の不動態化のための方法および酸化装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-331811   出願人：ワッカージルトロニックゲゼルシャフトフュアハルプライターマテリアーリエンアクチエンゲゼルシャフト
• 排ガス配管内付着物の除去方法、及び単結晶引き上げ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-119205   出願人：三菱住友シリコン株式会社
• 単結晶引上げ装置の不活性ガス回収装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-368293   出願人：信越半導体株式会社