特許
J-GLOBAL ID：201003070996479417

トリクロロシラン製造装置及び製造方法

発明者：
石井 敏由記

石井 敏由記 について

, 
駒井 栄治

駒井 栄治 について

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佐藤 春美

佐藤 春美 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (1件)： 青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-178450
公開番号（公開出願番号）：特開2010-059042
出願日： 2009年07月30日
公開日（公表日）： 2010年03月18日
要約：
【課題】多結晶シリコン製造プロセスやトリクロロシラン製造プロセス、又は転換プロセスから分離されたポリマーを分解してトリクロロシランに転換する。【解決手段】分解炉2に、分解炉2の内部を加熱する加熱手段8と、ポリマーと塩化水素とを分解炉2の上下方向に沿って内底部まで案内し下端開口部3aから分解炉2内に供給する原料供給管3と、原料供給管3の外周面と分解炉2の内周面との間に形成される反応室13の上部から反応ガスを導出させるガス導出管4とが設けられ、原料供給管3の外周面又は分解炉2の内周面の少なくともいずれかに、原料供給管3の下端開口部3aから供給されるポリマーと塩化水素との混合流体を反応室13内で攪拌しながら上昇させるように案内するフィン14が一体に形成されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
多結晶シリコン製造プロセス、トリクロロシラン製造プロセス又は転換プロセスにおいて発生する高沸点クロロシラン類を含有するポリマーと塩化水素とを分解炉内に導入し、高温下で反応させることにより前記ポリマーを分解してトリクロロシランを製造するトリクロロシラン製造装置において、 前記分解炉に、該分解炉の内部を加熱する加熱手段と、前記ポリマーと前記塩化水素とを前記分解炉の上下方向に沿って内底部まで案内し下端開口部から分解炉内に供給する原料供給管と、該原料供給管の外周面と前記分解炉の内周面との間に形成される反応室と、該反応室の上部から反応ガスを導出させるガス導出管とが設けられ、前記原料供給管の外周面又は前記分解炉の内周面の少なくともいずれかに、前記原料供給管の下端開口部から供給される前記ポリマーと前記塩化水素との混合流体を前記反応室内で攪拌しながら上昇させるように案内するフィンが一体に形成されていることを特徴とするトリクロロシラン製造装置。
IPC (1件)：
C01B 33/107
FI (1件)：
C01B33/107
Fターム (12件)：
4G072AA14 ,  4G072GG02 ,  4G072GG04 ,  4G072GG05 ,  4G072HH09 ,  4G072HH28 ,  4G072JJ14 ,  4G072MM01 ,  4G072RR01 ,  4G072RR07 ,  4G072RR11 ,  4G072UU30
引用特許：
出願人引用 (4件)
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