外力検出装置およびその出力信号の補正方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：深見久郎 , 森田俊雄 , 仲村義平 , 堀井豊 , 野田久登 , 酒井將行 , 荒川伸夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-221574
公開番号（公開出願番号）：特開2010-054431
出願日： 2008年08月29日
公開日（公表日）： 2010年03月11日
要約：

【課題】検出素子の動作状態の経時変化による外力検出装置の出力の変化を補正可能な技術を提供する。【解決手段】外力検出装置であるジャイロ装置100は、角速度検出信号S7を調整する出力調整回路64を含む。振動子1の振動状態が変化すると、その振動状態を一定に保つために、駆動回路20から振動子1に供給される駆動信号S11,S12の振幅電圧が変動する。この場合、角速度検出信号に加算されるクロストーク信号が変化するので角速度検出信号S7が変動する。出力調整回路64は、AGC回路22からのモニタ信号S1および出力調整回路64の内部に記憶されているオフセット変動補正係数に基づいて、AGC回路22から振動子1に供給される駆動信号S11,S12の振幅の変化による角速度検出信号S7の変化を補正する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

駆動信号に応じて機械的に動作することにより、外力が作用したときに前記外力を電気的特性の変化として検出可能に構成され、かつ前記駆動信号の振幅電圧および直流成分に応じて動作状態を変更可能な検出素子と、前記検出素子の前記動作状態が一定に保たれるように前記振幅および前記直流成分を制御可能であり、かつ前記駆動信号を前記検出素子に供給する駆動回路と、前記検出素子の前記電気的特性の変化を検出することにより、前記検出素子が検出した前記外力を示す検出信号を生成する検出回路と、前記検出素子と前記駆動回路とに接続される第1の配線と、前記検出素子と前記検出回路とに接続される第2の配線と、前記振幅電圧の変動により生じる、前記外力の非作用時の前記検出信号の変動を補正する出力補正回路とを備える、外力検出装置。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C19/56 , G01P9/04

Fターム (9件)：

2F105AA02 , 2F105AA08 , 2F105BB08 , 2F105BB09 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD11 , 2F105CD13

引用特許：

出願人引用 (1件)

ジャイロ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-124122 出願人：株式会社村田製作所, 旭化成マイクロシステム株式会社

審査官引用 (5件)

ジャイロ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-124122 出願人：株式会社村田製作所, 旭化成マイクロシステム株式会社
マイクロジャイロスコープの角速度出力補償回路
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-273100 出願人：三星電機株式会社
角速度検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-196367 出願人：トヨタ自動車株式会社, 株式会社豊田中央研究所

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