特許

J-GLOBAL ID：201003075200694003

表面形状測定装置

発明者： 鈴木 義将 ,  川▲崎▼ 和彦 ,  古賀 聡
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (2件)： 荒船 博司 ,  荒船 良男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-266130
公開番号（公開出願番号）：特開2010-096570
出願日： 2008年10月15日
公開日（公表日）： 2010年04月30日
要約：

【課題】表面形状の微細な凹凸に対応した位置調整が可能な表面形状測定装置を提供することにある。【解決手段】可動部材300の裏面側に、光源201より照射される光の波長と、集光レンズ205の開口数と、に基づいて決定される最小集光径の円形領域からなり、可動部材300よりも光反射率の高い高光反射部を備え、光源201より照射された光が、全て高光反射部に反射された場合の第1フォトディテクタ402から検出される反射光の強度を最大値として記憶部に記憶し、第1フォトディテクタ402から検出される反射光の強度が、記憶部に記憶された最大値に近づくように、集光レンズ205と可動部材300の相対位置を調整する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

測定対象物の表面に接触する探針と前記探針を表面側の先端部に備えた本体部とを含み、前記対象物の表面の形状に応じて可動する可動部材と、光を照射する光源と前記光源より照射された光を集光する集光レンズを含み、前記集光レンズにより集光された光を前記可動部材の本体部の裏面側の先端部に照射する光照射光学系と、前記光照射光学系により照射され、前記本体部の裏面側の先端部で反射した反射光の強度を検出する検出光学系を備え、前記測定対象物の表面形状や表面粗さを測定する表面形状測定装置において、 前記本体部の裏面側の所定位置に、前記光源より照射される光の波長と、前記集光レンズの開口数と、に基づいて決定される最小集光径の円形領域からなり、前記本体部よりも光反射率の高い高光反射部を有し、 前記光照射光学系により前記本体部の裏面側の先端部に照射された光が、全て前記高光反射部により反射された場合に、前記検出光学系から検出される反射光の強度を最大値として記憶する記憶手段と、 前記検出光学系から検出された反射光の強度が、前記記憶手段により記憶された最大値に近づくように、前記集光レンズと可動部材の相対位置を調整する調整手段を備えることを特徴とする表面形状測定装置。

IPC (3件)：

G01Q 20/02 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/30

FI (3件)：

G01N13/10 111C ,  G01B11/24 D ,  G01B11/30 102G

Fターム (11件)：

2F065AA50 ,  2F065AA53 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ22 ,  2F065LL00 ,  2F065LL30

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-226827   出願人：株式会社ミツトヨ
• 走査型プローブ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-381555   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
• AFMカンチレバー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-147811   出願人：オリンパス光学工業株式会社