特許
J-GLOBAL ID：200903049628678949
AFMカンチレバー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-147811
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304410
出願日： 1996年05月20日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：
【要約】【課題】 光反射膜をカンチレバー部の背面に形成したAFMカンチレバーにおいて、光反射膜成膜時の膜厚変動や測定中の熱変動によるカンチレバー部の反りをなくし、製品安定性やAFM測定安定性を向上させる。【解決手段】 窒化シリコンで形成されたカンチレバー部1の自由端近傍に同じく窒化シリコンで形成された探針部2を設け、且つカンチレバー部1の基部にガラス製の支持部3を設けると共に、カンチレバー部1の自由端近傍において探針部2の先端の延びる方向とは反対側の背面上に、クロム上に金を積層した多層膜からなる光反射膜4を局所的に形成して、AFMカンチレバーを構成する。
請求項（抜粋）：
支持部より伸びたカンチレバー部の自由端近傍に探針部を備えると共に、該カンチレバー部の自由端近傍に光反射膜を局所的に形成したことを特徴とするAFMカンチレバー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
