特許
J-GLOBAL ID:201003075360483629

精密基板収納容器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 河野 尚孝 ,  荒井 鐘司 ,  嶋崎 英一郎 ,  石井 あき子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-302611
公開番号(公開出願番号):特開2010-129765
出願日: 2008年11月27日
公開日(公表日): 2010年06月10日
要約:
【課題】 ガスケットが挿入された嵌合溝に入り込んだ洗浄水を効率よく排水および乾燥可能であり、洗浄水の残留に起因した基板の汚染を防止する。【解決手段】 一端に開口を有する容器本体と前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体と前記蓋体との間に狭持されてシールを形成するガスケットとを有する精密基板収納容器であって、前記容器本体又は前記蓋体には、前記ガスケットが挿入される嵌合溝が形成され、前記ガスケットは、エンドレス状をした基部と、基部から伸びるシール部とを有し、前記基部には、前記嵌合溝に挿入される嵌合部が形成されていて、前記嵌合部と前記嵌合溝の何れかに、連通溝が形成されていることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
一端に開口を有する容器本体と前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体と前記蓋体との間に狭持されてシールを形成するガスケットとを有する精密基板収納容器であって、 前記容器本体又は前記蓋体には、前記ガスケットが挿入される嵌合溝が形成され、 前記ガスケットは、エンドレス状をした基部と、基部から伸びるシール部とを有し、 前記基部は、前記嵌合溝に挿入されるときに嵌合部として形成されていて、 前記嵌合部と前記嵌合溝との何れか一方に、連通溝が形成されている ことを特徴とする精密基板収納容器。
IPC (2件):
H01L 21/673 ,  B65D 85/86
FI (2件):
H01L21/68 T ,  B65D85/38 R
Fターム (27件):
3E096AA06 ,  3E096BA15 ,  3E096BA16 ,  3E096BB05 ,  3E096CA06 ,  3E096CA08 ,  3E096CB03 ,  3E096CC02 ,  3E096DA09 ,  3E096DA23 ,  3E096DA25 ,  3E096DB06 ,  3E096DC02 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096FA03 ,  3E096FA08 ,  3E096FA30 ,  3E096GA07 ,  3E096GA12 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA02 ,  5F031EA10 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031EA19
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (1件)
  • ガスケット
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2001-375259   出願人:エヌオーケー株式会社

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