光学式変位測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人信友国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-200133
公開番号（公開出願番号）：特開2010-038654
出願日： 2008年08月01日
公開日（公表日）： 2010年02月18日
要約：

【課題】光学系の組み立て調整が容易で、かつ、スケール部に異物等が付着した際の光量低下を抑えることが可能な光学式変位測定装置を提供する。【解決手段】光学式変位測定装置1Aは、スケール部11Aの回折格子11Tで回折された2つの1回回折光Lb1,Lb2を再度回折格子11Tに照射する反射光学系16を備える。反射光学系16は、直角を3つ合成した頂点を持つ三角錐のプリズムで構成されるマイクロコーナーキューブプリズムが、縦横に並べて配列されるマイクロコーナーキューブプリズム集合ミラー17a,17bを備える。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

照射された光を回折する回折格子を有し、前記回折格子の格子ベクトル方向に相対移動するスケール部と、可干渉光を出射する発光部と、前記発光部により出射された可干渉光を2つの可干渉光に分割して、前記スケール部の前記回折格子に各可干渉光を照射し、2つの1回回折光を生じさせると共に、2つの1回回折光を前記回折格子により回折させて生じさせた2つの2回回折光を干渉させる照射受光光学系と、 2つの可干渉光を前記回折格子により回折させて生じさせた2つの1回回折光をそれぞれ反射して、前記回折格子に2つの1回回折光を照射する反射光学系と、前記照射受光光学系により2つの2回回折光を干渉させた干渉光を受光して干渉信号を検出する受光部とを備え、前記反射光学系は、直角を3つ合成した頂点を持つ三角錐のプリズムで構成されるコーナーキューブプリズムが、縦横に並べて配列されるマイクロコーナーキューブプリズム集合ミラーを備えた光学式変位測定装置。

IPC (2件)：

G01D 5/38 , G01B 11/00

FI (2件)：

G01D5/38 A , G01B11/00 G

Fターム (50件)：

2F065AA02 , 2F065AA07 , 2F065AA09 , 2F065AA20 , 2F065BB02 , 2F065BB03 , 2F065BB15 , 2F065BB16 , 2F065BB18 , 2F065CC17 , 2F065DD13 , 2F065FF16 , 2F065FF17 , 2F065FF18 , 2F065FF48 , 2F065FF49 , 2F065GG04 , 2F065HH09 , 2F065HH10 , 2F065JJ05 , 2F065JJ18 , 2F065LL04 , 2F065LL17 , 2F065LL18 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065LL42 , 2F065MM03 , 2F065MM04 , 2F065QQ13 , 2F065UU07 , 2F103BA17 , 2F103BA27 , 2F103CA02 , 2F103DA01 , 2F103DA12 , 2F103DA13 , 2F103EA02 , 2F103EA12 , 2F103EA15 , 2F103EA19 , 2F103EB02 , 2F103EB12 , 2F103EB21 , 2F103EB32 , 2F103EC04 , 2F103EC13 , 2F103EC15 , 2F103ED02 , 2F103FA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開昭60-98302号公報

審査官引用 (10件)

変位検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-373411 出願人：株式会社ミツトヨ
特開昭62-200226
特開昭62-200226

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