特許
J-GLOBAL ID：200903048303443566

位置測定装置

発明者：
ジョセフ ダニエル トバイアソン

ジョセフ ダニエル トバイアソン について

, 
ミシェル マリー ミルビッチ

ミシェル マリー ミルビッチ について

, 
マイケル ネイハム

マイケル ネイハム について

, 
ヴィダヤ ヴェンカタチャラム

ヴィダヤ ヴェンカタチャラム について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (3件)： 木下 實三 ,  中山 寛二 ,  石崎 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-084786
公開番号（公開出願番号）：特開2005-274577
出願日： 2005年03月23日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：
【課題】 ターゲット部材に対する平行移動および傾き姿勢をX、Y、Z、ヨー、ピッチ、およびロール(「6D」)で同時に高精度に測定できる位置センサを提供する。【解決手段】 ターゲット部材210には、コントラストを成した表面に囲まれたターゲット点215、216のアレイが含まれる。位置センサ200では、位置センサ200の画像処理アレイ230が調整可能な円錐角αに応じてOPA要素220に入る光線258だけを受光するようにOPA要素220が角度選択空間フィルタ250と組合せてターゲット点画像の配置において使用される。ターゲット点215、216のZ位置によって大きさが変化する輪状画像が画像処理アレイ230上に生成される。同一画像内の3つ以上のターゲット点215、216の画像を解析すると、ターゲット部材210に対する6D測定値を確定することができる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
ターゲット部材との相対位置を測定するのに使用可能な位置測定装置であって、 アレイ検出器と、 複数の光学経路要素を備える光学経路アレイ要素と、 前記光学経路アレイ要素を通過するとともに調整可能な方向に沿っている光線を選択的に伝送する角度フィルタ部と、を具備しており、 前記ターゲット部材の少なくとも一部分に対応する画像を前記アレイ検出器上に提供するように前記位置測定装置を位置決め可能であり、 前記画像は前記伝送される光線により生成され、 前記位置測定装置と前記ターゲット部材との間の相対位置の少なくとも1つの自由度に対応する少なくとも1つの測定値を決定するのに前記アレイ検出器上の前記画像を使用できることを特徴とする位置測定装置。
IPC (1件)：
G01B11/00
FI (1件)：
G01B11/00 A
Fターム (26件)：
2F065AA04 ,  2F065AA17 ,  2F065AA20 ,  2F065AA26 ,  2F065AA39 ,  2F065BB28 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG17 ,  2F065HH02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL03 ,  2F065LL04 ,  2F065LL10 ,  2F065LL17 ,  2F065LL30 ,  2F065LL42 ,  2F065LL46 ,  2F065LL59 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ38 ,  2F065QQ42
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 米国特許第5,104,225号
  • 米国特許第5,452,838号
審査官引用 (12件)
  • 表面検査方法及びその装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-066616   出願人：川崎製鉄株式会社
  • 特開平4-270920
  • 特開平4-270920
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM