特許
J-GLOBAL ID：201003081526294862
形状測定装置,形状測定方法
発明者：
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-284187
公開番号（公開出願番号）：特開2010-197376
出願日： 2009年12月15日
公開日（公表日）： 2010年09月09日
要約：
【課題】薄板状の被測定物の厚み分布の測定において,簡易な装置構成により,被測定物の振動の影響を受けずに高精度で厚み分布の測定を行うことができること。【解決手段】被測定物1の表裏各面について,レーザ光源2の出射光を2分岐したビーム光をさらに2分岐させて参照面及び表裏相対する測定点1a,1bに反射させ,参照光と物体光とを直交する偏光成分とする非干渉光Pax,Pbxを得て,それを複数に分岐させ,分岐光のうちの1つ以上について波長板a261,a263,a264等で直交する偏光成分の位相差に変化を与えて位相シフトを行い,位相シフト後の分岐光における参照光及び物体光の偏光方向を基準とする共通の偏光成分の抽出により干渉光Qa1〜Qa4,Qb1〜Qb4を得て,それらの強度から前記非干渉光における前記参照光及び前記物体光の偏光成分の位相差を算出し,その位相差の分布から被測定物1の厚み分布を算出する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
被測定物の表裏各面それぞれについて設けられ,所定の光源の出射光が2分岐されて前記被測定物の表裏各面の側へ導かれたビーム光を基準となる参照面と前記被測定物における表裏各面の表裏相対する測定部位とに反射させた参照光及び物体光の干渉光の強度を検出する2つのホモダイン干渉計と,該2つのホモダイン干渉計に対する前記被測定物の2次元方向の相対位置を変化させつつ該2つのホモダイン干渉計により複数箇所の前記測定部位について検出された前記干渉光の強度に基づいて前記被測定物の厚み分布を算出する厚み分布算出手段と,を具備してなる形状測定装置であって,
前記2つのホモダイン干渉計それぞれが,
前記ビーム光を2分岐させて前記参照面と前記測定部位との各々に照射し,前記参照光と前記物体光とが相互に直交する偏光成分として含まれる非干渉光を得る非干渉光取得用光学系と,
前記非干渉光取得用光学系により得られた前記非干渉光を3つ以上に分岐させる非干渉光分岐用光学系と,
前記非干渉光分岐用光学系により得られた前記非干渉光の3つ以上の分岐光のうちの1つ以上について複屈折素子を通じて直交する偏光成分の位相差に変化を与えることにより,前記非干渉光の3つ以上の分岐光それぞれにおける前記参照光の偏光成分と前記物体光の偏光成分との間に異なる位相差を生じさせる位相シフト用光学系と,
前記位相シフト用光学系を経た前記非干渉光の3つ以上の分岐光それぞれから該分岐光における前記参照光及び前記物体光の偏光方向を基準とする角度が共通の偏光成分を抽出することにより前記参照光と前記物体光との干渉光を抽出する干渉光抽出用光学系と,
前記干渉光抽出用光学系により抽出された複数の干渉光それぞれの強度を検出する干渉光強度検出手段と,を具備し,
前記厚み分布算出手段が,
前記被測定物の表裏各面それぞれについて前記干渉光強度検出手段により検出された複数の前記干渉光のそれぞれの強度に基づいて前記非干渉光における前記参照光及び前記物体光の偏光成分の位相差を算出する位相差算出手段と,
前記被測定物の表裏各面それぞれの複数箇所の前記測定部位について前記位相差算出手段により算出された位相差の分布に基づいて前記被測定物の厚み分布を算出する厚み分布算出手段と,
を具備してなることを特徴とする形状測定装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 11/06
, G01B 9/02
G01B11/24 D
, G01B11/06 G
, G01B9/02
2F064AA09
, 2F064EE01
, 2F064FF01
, 2F064FF05
, 2F064GG12
, 2F064GG22
, 2F064GG23
, 2F064GG38
, 2F064GG39
, 2F064HH01
, 2F064HH05
, 2F065AA30
, 2F065AA53
, 2F065BB03
, 2F065CC19
, 2F065FF52
, 2F065FF67
, 2F065GG04
, 2F065HH04
, 2F065HH13
, 2F065JJ01
, 2F065JJ05
, 2F065JJ09
, 2F065LL12
, 2F065LL35
, 2F065LL36
, 2F065LL37
, 2F065LL46
, 2F065MM03
, 2F065MM04
, 2F065PP12
, 2F065PP13
, 2F065QQ00
, 2F065QQ01
, 2F065QQ23
, 2F065QQ26
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (7件)
全件表示
前のページに戻る
