特許

J-GLOBAL ID：201003085834308349

ナノインプリント用硬化性組成物、硬化物およびその製造方法

発明者： 藤田 明徳 ,  横井 和公
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-164979
公開番号（公開出願番号）：特開2010-006870
出願日： 2008年06月24日
公開日（公表日）： 2010年01月14日
要約：

【課題】パターン転写精度、モールドとの剥離性、得られる硬化膜の表面強度および得られる硬化膜の耐熱性(透明性)に優れたナノインプリント用硬化性組成物を提供する。【解決手段】重合性官能基構造と直鎖状ポリシロキサン構造とを有する化合物(A)と、(メタ)アクリル酸エステルモノマー(B)と、光ラジカル発生剤(C)とを含む硬化性組成物であって、前記(メタ)アクリル酸エステルモノマーの前記硬化性組成物中の含有量が60質量%以上であり、かつ前記硬化性組成物中に含まれる前記(メタ)アクリル酸エステルモノマーの少なくとも1種が多官能(メタ)アクリル酸エステルモノマーであり、該多官能(メタ)アクリル酸エステルモノマーの含有量が前記硬化組成物中の15質量%以上であることを特徴とするナノインプリント用硬化性組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

重合性官能基構造と直鎖状ポリシロキサン構造とを有する化合物(A)と、 (メタ)アクリル酸エステルモノマー(B)と、 光ラジカル発生剤(C)と、 を含む硬化性組成物であって、前記(メタ)アクリル酸エステルモノマーの前記硬化性組成物中の含有量が60質量%以上であり、かつ前記硬化性組成物中に含まれる前記(メタ)アクリル酸エステルモノマーの少なくとも1種が多官能(メタ)アクリル酸エステルモノマーであり、該多官能(メタ)アクリル酸エステルモノマーの含有量が前記硬化組成物中の15質量%以上であることを特徴とするナノインプリント用硬化性組成物。

IPC (4件)：

C08F 290/00 ,  H01L 21/027 ,  B29C 59/02 ,  C08F 2/48

FI (4件)：

C08F290/00 ,  H01L21/30 502D ,  B29C59/02 Z ,  C08F2/48

Fターム (102件)：

4F209AA33 ,  4F209AA43 ,  4F209AA44 ,  4F209AA48 ,  4F209AC05 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AJ06 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN03 ,  4F209PN06 ,  4F209PN07 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  4F209PW06 ,  4J011AA05 ,  4J011PA69 ,  4J011PA99 ,  4J011PC02 ,  4J011PC08 ,  4J011QA03 ,  4J011QA07 ,  4J011QA13 ,  4J011QA18 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA25 ,  4J011QA32 ,  4J011QA39 ,  4J011QB25 ,  4J011SA06 ,  4J011SA07 ,  4J011SA22 ,  4J011SA24 ,  4J011SA25 ,  4J011SA28 ,  4J011SA29 ,  4J011SA32 ,  4J011SA34 ,  4J011SA42 ,  4J011SA54 ,  4J011SA63 ,  4J011SA64 ,  4J011SA78 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J127AA03 ,  4J127AA04 ,  4J127AA06 ,  4J127BA161 ,  4J127BB021 ,  4J127BB031 ,  4J127BB041 ,  4J127BB081 ,  4J127BB101 ,  4J127BB111 ,  4J127BB191 ,  4J127BB221 ,  4J127BB281 ,  4J127BC021 ,  4J127BC041 ,  4J127BC151 ,  4J127BD101 ,  4J127BD171 ,  4J127BD291 ,  4J127BD331 ,  4J127BE11X ,  4J127BE111 ,  4J127BE34Y ,  4J127BE341 ,  4J127BE59X ,  4J127BE591 ,  4J127BF14Y ,  4J127BF141 ,  4J127BF29Y ,  4J127BF291 ,  4J127BF78Y ,  4J127BF781 ,  4J127BG04X ,  4J127BG041 ,  4J127BG05X ,  4J127BG051 ,  4J127BG08X ,  4J127BG081 ,  4J127BG10Y ,  4J127BG101 ,  4J127BG12Y ,  4J127BG121 ,  4J127BG17X ,  4J127BG17Y ,  4J127BG171 ,  4J127BG38X ,  4J127BG38Y ,  4J127BG381 ,  4J127CB281 ,  4J127EA01 ,  4J127FA00 ,  5F046AA28

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 米国特許第5,772,905号公報
  
• 米国特許第5,956,216号公報
  
• ナノインプリント用の膜形成組成物およびパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-262009   出願人：東京応化工業株式会社
• 微細パターンの形成に用いられるモールド用樹脂組成物およびそれからの有機モールドの製作方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2006-500673   出願人：ミヌタ・テクノロジー・カンパニー・リミテッド
• 微細パターン形成体およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-319129   出願人：大日本印刷株式会社