特許
J-GLOBAL ID：201003086230054213
反射式散乱計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
竹本 松司
, 杉山 秀雄
, 湯田 浩一
, 魚住 高博
, 手島 直彦
, 白石 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-256583
公開番号（公開出願番号）：特開2010-060543
出願日： 2008年10月01日
公開日（公表日）： 2010年03月18日
要約：
【課題】サンプル測量に適した反射式散乱計。【解決手段】反射式散乱計は放物面鏡、光源、第1反射鏡、第2反射鏡、及び受信器を包含する。放物面鏡は光軸と放物表面を具え、サンプルは放物表面の焦点に位置し、且つサンプルの法線方向は光軸に平行である。光源はコリメートビームの生成に適し、第1反射鏡はコリメートビームを放物表面に向けて反射し、且つ放物表面はコリメートビームをサンプルに向けて反射し、第1回折ビームを生成する。続いて放物表面が第1回折ビームを第2反射鏡に向けて反射し、且つ該第2反射鏡が第1回折ビームを受信器に向けて反射する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
サンプルの測定に適した反射式散乱計において、
光軸と放物表面を具えた放物面鏡と、
コリメートビーム発生に適した光源と、
該コリメートビームを該放物表面に向けて反射し、該放物表面に該コリメートビームを該サンプルに向けて反射させることで、第1回折ビームを発生させる第1反射鏡と、
該放物表面が反射した該第1回折ビームを反射する第2反射鏡と、
該第2反射鏡が反射した該第1回折ビームを受け取る受信器と、
を包含したことを特徴とする、反射式散乱計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/956 A
, G01N21/47 A
2G051AA51
, 2G051AB02
, 2G051BA10
, 2G051BB09
, 2G051CA03
, 2G051CB06
, 2G059BB10
, 2G059EE02
, 2G059GG01
, 2G059GG02
, 2G059JJ11
, 2G059JJ13
, 2G059JJ14
, 2G059KK04
出願人引用 (5件)
-
米国特許第5703692号明細書
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米国特許第6987568号明細書
-
膜厚および溝深さ検出装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-251362
出願人：株式会社日立製作所
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審査官引用 (3件)
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