測定用プローブの動きの検出方法および測定機器

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (4件)：稲葉良幸 , 大貫敏史 , 江口昭彦 , 内藤和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-208533
公開番号（公開出願番号）：特開2010-071989
出願日： 2009年09月09日
公開日（公表日）： 2010年04月02日
要約：

【課題】測定用プローブの動きの検出方法および測定機器を提供する。【解決手段】予め定められた像平面上に物体平面を結像するようになされた対物レンズと前記物体平面との間に設けられた測定用プローブの動きを検出するための方法が開示されている。さらに、対物レンズと測定用プローブとを含む測定機器が開示されている。光の入射ビームを測定ビームおよび参照ビームに分割する。対物レンズによって測定ビームをコリメートさせるために、測定ビームを対物レンズの後側焦点面に集光させる。コリメートされた測定ビームを測定用プローブにおいて反射させる。対物レンズが反射測定ビームを後側焦点面に集光させるようにするために、反射測定ビームを対物レンズの方へ向ける。反射測定ビームがコリメートされる。コリメートされた測定ビームおよび参照ビームを重ね合わせて重畳ビームを生成し、反射測定ビームと参照ビームとの間の干渉を検出する。【選択図】図2a

請求項（抜粋）：

予め定められた像平面上に物体平面を結像するようになされた対物レンズと前記物体平面との間に設けられた測定用プローブの動きを検出するための方法であって、光の入射ビームを測定ビームおよび参照ビームに分割すること、前記測定ビームを前記対物レンズの後側焦点面に集光させて、前記測定ビームを前記対物レンズによってコリメートすること、前記コリメートされた測定ビームを前記測定用プローブにおいて反射させ、前記反射測定ビームを前記対物レンズの方へ向けて、前記対物レンズが前記反射測定ビームを前記後側焦点面に集光させること、前記反射測定ビームをコリメートさせること、前記コリメートされた反射測定ビームおよび前記参照ビームを重ね合わせて、重畳ビームを生成すること、および前記反射測定ビームと前記参照ビームとの間の干渉を検出することを含む方法。

IPC (4件)：

G01Q 20/02 , G01B 11/00 , G01Q 30/02 , G01B 9/02

FI (4件)：

G01N13/10 111C , G01B11/00 A , G01N13/10 121A , G01B9/02

Fターム (30件)：

2F064AA01 , 2F064CC10 , 2F064EE01 , 2F064FF01 , 2F064FF03 , 2F064GG12 , 2F064GG15 , 2F064GG20 , 2F064GG22 , 2F064GG23 , 2F064GG33 , 2F064GG38 , 2F064GG42 , 2F064GG44 , 2F064HH01 , 2F064HH03 , 2F064HH05 , 2F064HH06 , 2F064HH08 , 2F064HH09 , 2F065AA04 , 2F065FF44 , 2F065FF49 , 2F065FF51 , 2F065GG21 , 2F065HH04 , 2F065JJ00 , 2F065LL12 , 2F065LL20 , 2F065LL37

引用特許：

審査官引用 (2件)

干渉計
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-182064 出願人：富士写真光機株式会社
近接場光探針、光学装置、プローブ顕微鏡、及びプローブ顕微鏡型記録再生ヘッド装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-008491 出願人：国立大学法人群馬大学

引用文献：

審査官引用 (1件)

Scanning force microscopy using a simple low-noise interferometer

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