特許
J-GLOBAL ID：200903061123826722
近接場光探針、光学装置、プローブ顕微鏡、及びプローブ顕微鏡型記録再生ヘッド装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-008491
公開番号（公開出願番号）：特開2008-175651
出願日： 2007年01月17日
公開日（公表日）： 2008年07月31日
要約：
【課題】試料を汚染せずに、かつ、高い分解能で信頼性の高い測定結果を得ることができるようにする。【解決手段】プローブ14は、円錐凹状に形成され、プローブ14の内面には、表面プラズモン共鳴が起きるように、金属蒸着によって金属膜コート30がプローブ14の先端まで形成されている。プローブ14において、情報検出レーザ光19を先端にフォーカスさせると、金属膜コート30の表面でプラズモン共鳴を起こし、先端から近接場光31が発生し、近接場光31が試料に照射される。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
先端に向かうに従って狭窄した凹部が光を透過する光透過材料で形成されると共に、凹部の内面が金属膜でコーティングされた探針を端部に設けたカンチレバーを含む近接場光探針。
IPC (3件)：
G01N 13/14
, G01B 11/30
, G01N 13/10
G01N13/14 B
, G01N13/14 A
, G01B11/30 P
, G01N13/10 G
2F065AA49
, 2F065FF00
, 2F065GG04
, 2F065JJ17
, 2F065JJ18
, 2F065LL00
, 2F065LL12
, 2F065LL20
, 2F065LL22
, 2F065LL30
, 2F065LL36
, 2F065LL67
, 2F065PP12
出願人引用 (1件)
審査官引用 (12件)
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引用文献：
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