特許
J-GLOBAL ID：201003090126070247

シート状部材保持具、シート状部材設置装置およびシート状部材設置方法

発明者：
伊谷 慎也

伊谷 慎也 について

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小久保 光典

小久保 光典 について

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杉浦 裕喜

杉浦 裕喜 について


出願人/特許権者：
東芝機械株式会社

東芝機械株式会社 について


代理人 (2件)： 正林 真之 ,  林 一好
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-260452
公開番号（公開出願番号）：特開2010-089338
出願日： 2008年10月07日
公開日（公表日）： 2010年04月22日
要約：
【課題】微細な転写パターンが形成されているか、もしくは、微細な転写パターンが転写されるシート状の部材の取り扱いを容易にするシート状部材の保持具、シート状部材設置装置、及びシート状部材設置方法を提供する。【解決手段】微細な転写パターンが形成されているか、もしくは、微細な転写パターンが転写されるシート状の部材Wを保持するシート状部材保持具1において、シート状の部材Wの少なくとも周辺部を、シート状部材保持手段19のシート状部材保持体27、29と、ベース部材17の斜面23、25とにより挟み込むことにより、シート状の部材Wを保持する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
微細な転写パターンが形成されているか、もしくは、微細な転写パターンが転写されるシート状の部材を保持するシート状部材保持具において、 前記シート状の部材の少なくとも周辺部を保持することにより前記シート状の部材を保持するように構成されていることを特徴とするシート状部材保持具。
IPC (2件)：
B29C 59/02 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
B29C59/02 B ,  H01L21/30 502D
Fターム (18件)：
4F209AA44 ,  4F209AC03 ,  4F209AC05 ,  4F209AD08 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AJ02 ,  4F209AJ06 ,  4F209AK03 ,  4F209PA02 ,  4F209PA15 ,  4F209PB01 ,  4F209PB13 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  4F209PQ20 ,  5F046AA28
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 微小型押成形装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-190094   出願人：株式会社エリオニクス
審査官引用 (2件)

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