特許
J-GLOBAL ID：201003091562762436
マイクロレンズアレイ基板とその製造方法、及び液晶パネル、液晶プロジェクタ、表示装置、照明装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人信友国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-223232
公開番号（公開出願番号）：特開2010-002925
出願日： 2009年09月28日
公開日（公表日）： 2010年01月07日
要約：
【課題】本発明は、高解像度化に適し、精密なマイクロレンズアレイを有したマイクロレンズ基板とかかるマイクロレンズアレイ基板を歩留り良く製造できるようにしたマイクロレンズアレイ基板の製造方法、並びにこのマイクロレンズアレイを有する液晶パネル、液晶プロジェクタ、表示装置、照明装置を提供するものである。【解決手段】本発明に係るマイクロレンズアレイ基板1は、石英基板またはガラス基板の表面内に、連続した複数の凹レンズ状のマイクロレンズ11からなるマイクロレンズアレイ8と、マイクロレンズアレイ領域外に形成されたアライメントマーク7を有し、マイクロレンズアレイ8及びアライメントマーク7が、ドライエッチングによる転写法で同時に形成されて成る。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
石英基板またはガラス基板の表面内に、連続した複数の凹レンズ状のマイクロレンズからなるマイクロレンズアレイと、前記マイクロレンズアレイ領域外に形成されたアライメントマークを有し、
前記マイクロレンズアレイ及び前記アライメントマークは、ドライエッチングによる転写法で同時に形成されたものである
ことを特徴とするマイクロレンズアレイ基板。
IPC (3件)：
G02B 3/00
, G02F 1/133
, F21V 5/00
G02B3/00 A
, G02F1/1335
, F21V5/00 530
2H191FA14Y
, 2H191FA56X
, 2H191FA56Y
, 2H191FA56Z
, 2H191FA62X
, 2H191FA62Y
, 2H191FA62Z
, 2H191FA64X
, 2H191FA64Y
, 2H191FA64Z
, 2H191FA81Z
, 2H191FB03
, 2H191FC01
, 2H191FC25
, 2H191FD04
, 2H191FD32
, 2H191GA01
, 2H191GA19
, 2H191LA13
, 2H191LA15
, 2H191LA31
, 2H191MA11
