特許

J-GLOBAL ID：201003092485725782

感放射線性樹脂組成物、液晶表示素子の層間絶縁膜、保護膜及びスペーサーとその形成方法

発明者： 浜口 仁 ,  鈴木 貴久 ,  木下 芳徳
出願人/特許権者： JSR株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-069134
公開番号（公開出願番号）：特開2010-224067
出願日： 2009年03月19日
公開日（公表日）： 2010年10月07日
要約：

【課題】の目的は、1種類の感放射線性樹脂組成物で層間絶縁膜、保護膜及びスペーサーを形成することが可能であり、さらに、層間絶縁膜、保護膜においては高感度、高平坦性、高密着性、高透過率、スペーサーにおいては高解像度、高感度を達成できる感放射線性樹脂組成物を提供することにある。【解決手段】 (A)共重合体、(B)重合性化合物、(C)感放射線性重合開始剤、(D)ヒンダードフェノール構造、ヒンダードアミン構造、アルキルホスフェート構造、チオエーテル構造を有する化合物の群から選ばれる少なくとも1つを含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)(a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)エポキシ基を有するラジカル重合性化合物および(a3)(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸脂環式エステル、酸素原子を含む不飽和複素五及び六員環(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸アリールエステル、マレイミド化合物、(メタ)アクリル酸のヒドロキシアルキルエステル、スチレン、α-メチルスチレン、1,3-ブタジエンよりなる群から選ばれる少なくとも1種の他のラジカル重合性化合物の共重合体であるアルカリ水溶液に可溶な樹脂であって、該共重合体中の(a1)成分の共重合割合が5〜40質量%、(a2)成分の共重合割合が10〜70質量%および(a3)成分の共重合割合が10〜70質量%である共重合体、 (B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、 (C)感放射線性重合開始剤、ならびに (D)ヒンダードフェノール構造を有する化合物、ヒンダードアミン構造を有する化合物、アルキルホスフェート構造を有する化合物、チオエーテル構造を有する化合物の群から選ばれる少なくとも1つを含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (10件)：

G03F 7/004 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/40 ,  G03F 7/031 ,  G02F 1/133 ,  G02F 1/136 ,  H01L 21/027 ,  C08F 220/32 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/50

FI (10件)：

G03F7/004 501 ,  G03F7/033 ,  G03F7/40 501 ,  G03F7/031 ,  G02F1/1339 500 ,  G02F1/1368 ,  H01L21/30 502R ,  C08F220/32 ,  C08F2/44 ,  C08F2/50

Fターム (70件)：

2H092KB22 ,  2H092KB24 ,  2H092KB25 ,  2H092MA13 ,  2H092NA01 ,  2H092NA17 ,  2H092NA18 ,  2H092NA19 ,  2H092PA03 ,  2H096AA28 ,  2H096BA05 ,  2H096EA02 ,  2H096GA09 ,  2H096HA01 ,  2H125AC21 ,  2H125AC32 ,  2H125AC36 ,  2H125AC37 ,  2H125AD02 ,  2H125AD06 ,  2H125AE13P ,  2H125AE14P ,  2H125AE18P ,  2H125AN22P ,  2H125AN23P ,  2H125AN39P ,  2H125AN51P ,  2H125AN71P ,  2H125AN79P ,  2H125AN82P ,  2H125BA05P ,  2H125BA08P ,  2H125BA09P ,  2H125BA32P ,  2H125CA22 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H189DA06 ,  2H189EA06X ,  2H189FA16 ,  2H189HA16 ,  2H189LA06 ,  4J011AC04 ,  4J011PA33 ,  4J011PA43 ,  4J011PA46 ,  4J011PA69 ,  4J011PB24 ,  4J011QA03 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA25 ,  4J011RA03 ,  4J011SA78 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J100AB02Q ,  4J100AJ02R ,  4J100AL08Q ,  4J100AL10P ,  4J100BC12Q ,  4J100BC43Q ,  4J100BC53Q ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA37 ,  4J100JA44

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-308495   出願人：住友化学株式会社
• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-199279   出願人：三洋化成工業株式会社
• カラ-フィルタ-用光重合性組成物、およびカラ-フィルタ-
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-016732   出願人：三菱化学株式会社
• 感放射線性樹脂組成物、層間絶縁膜およびスペーサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-128502   出願人：ジェイエスアール株式会社
• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-043841   出願人：東進セミケム株式会社