櫛の歯状電極を有する加速度センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：矢野敏雄 , 杉本博司 , 高橋佳大 , 二宮浩康 , アインゼル・フェリックス=ラインハルト
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-541929
公開番号（公開出願番号）：特表2010-513888
出願日： 2007年10月19日
公開日（公表日）： 2010年04月30日
要約：

本発明は、マイクロメカニカル技術による容量性加速度センサに関する。これは、基板(5)と変位可能に接続された、少なくとも1つの弾性波質量体(1)と、基板(5)と固定的に接続された少なくとも1つの電極(11)と、弾性波質量体(1)と接続された少なくとも1つの電極(6)とを有している形式のものにおいて、基板(5)と固定的に接続された少なくとも1つの電極(11)と弾性波質量体(1)と接続された少なくとも1つの電極(6)は櫛の歯状電極(6、11)として構成されており、櫛の歯状電極は、弾性波質量体(1)の変位方向に対して平行に延在している薄片(8、13)を備えており、2つの櫛の歯状電極(6、11)の薄片(8、13)は静止状態において部分的にオーバーラップしている。

請求項（抜粋）：

マイクロメカニカル技術による容量性加速度センサであって、基板(5)と変位可能に接続された、少なくとも1つの弾性波質量体(1)と、前記基板(5)と固定的に接続された少なくとも1つの電極(11)と、前記弾性波質量体(1)と接続された少なくとも1つの電極(6)とを有している形式のものにおいて、前記基板(5)と固定的に接続された少なくとも1つの電極(11)と前記弾性波質量体(1)と接続された少なくとも1つの電極(6)は櫛の歯状電極(6、11)として構成されており、当該櫛の歯状電極は、前記弾性波質量体(1)の変位方向に対して平行に延在している薄片(8、13)を備えており、前記2つの櫛の歯状電極(6、11)の薄片(8、13)は静止状態において部分的にオーバーラップしている、ことを特徴とする、マイクロメカニカル技術による容量性加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/125 , H01L 29/84

FI (2件)：

G01P15/125 Z , H01L29/84 Z

Fターム (6件)：

4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112CA21 , 4M112CA24 , 4M112CA31 , 4M112FA20

引用特許：

審査官引用 (4件)

半導体力学量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-369030 出願人：株式会社デンソー
マイクロメカニックな構成エレメント
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-259860 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-082552 出願人：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト

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