特許
J-GLOBAL ID:201003097217429757
有機EL素子の発光層を蒸着する方法、該蒸着方法を含む有機EL素子の製造方法、及びその製造方法により製造された有機EL素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
亀谷 美明
, 金本 哲男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-180612
公開番号(公開出願番号):特開2010-040529
出願日: 2009年08月03日
公開日(公表日): 2010年02月18日
要約:
【課題】有機EL素子の発光層を蒸着する方法を提供する。【解決手段】複数の相異なるカラーを備えたサブピクセルの組み合わせを単位ピクセルとし、行方向に複数のサブピクセルが順に交互に配置され、列方向に同一カラーのサブピクセルが配された有機EL素子の発光層を蒸着する方法であって、サブピクセルのうち、奇数行(または偶数行)に配された同一カラーのサブピクセルの位置に対応する開口部を備えたマスクを利用して発光層を1次蒸着するステップと、マスクを移動させて、1次蒸着ステップで発光層が蒸着されたサブピクセルに直接隣接するサブピクセルには、1次蒸着ステップで蒸着された発光層を蒸着するのに使われたマスクの同一開口部により蒸着されないように発光層を2次蒸着するステップと、を含む有機EL素子の発光層蒸着方法。【選択図】図5A
請求項(抜粋):
複数の相異なるカラーを備えたサブピクセルの組み合わせを単位ピクセルとし、行方向に複数のサブピクセルが順に交互に配置され、列方向に同一カラーのサブピクセルが配された有機EL素子の発光層を蒸着する方法であって、
前記サブピクセルのうち、奇数行(または偶数行)に配された同一カラーのサブピクセルの位置に対応する開口部を備えたマスクを利用して発光層を1次蒸着するステップと、
前記マスクを移動させて、前記1次蒸着ステップで発光層が蒸着されたサブピクセルに直接隣接するサブピクセルには、前記1次蒸着ステップで蒸着された発光層を蒸着するのに使われた前記マスクの同一開口部により蒸着されないように発光層を2次蒸着するステップと、を含む有機EL素子の発光層蒸着方法。
IPC (4件):
H05B 33/10
, H01L 51/50
, C23C 14/12
, C23C 14/24
FI (4件):
H05B33/10
, H05B33/14 A
, C23C14/12
, C23C14/24 G
Fターム (11件):
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC45
, 3K107FF15
, 3K107GG04
, 3K107GG28
, 3K107GG33
, 4K029BA62
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029HA03
引用特許: