特許
J-GLOBAL ID:201003099453732412
ガスセンサの製造方法、ガスセンサ、およびガスセンサに備わる積層構造
発明者:
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (2件):
吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-085513
公開番号(公開出願番号):特開2010-237044
出願日: 2009年03月31日
公開日(公表日): 2010年10月21日
要約:
【課題】電極保護層の拡散抵抗が好適に制御されたガスセンサおよびこれを実現するガスセンサの製造方法を提供する。【解決手段】ガスセンサの製造方法が、測定電極形成用のセラミックグリーンシートに、測定電極パターンを印刷形成する工程と、測定電極パターンの上に電極保護層パターンを印刷形成する保護層パターン形成工程と、を備えるようにし、保護層パターン形成工程を、セラミック粉末と造孔剤とが所定の比率で混合された保護層形成用ペーストを用いた単位層パターンの印刷形成を複数回繰り返すことにより行うとともに、最下層の単位層パターンと最上層の単位層パターンの少なくとも一方の形成に用いる保護層形成用ペースト中の造孔剤の比率を、他の層の単位層パターンの形成に用いる保護層形成用ペースト中の造孔剤の比率よりも大きくなるようにする。【選択図】図3
請求項(抜粋):
それぞれに所定の印刷パターンが形成された複数のセラミックグリーンシートを積層し、得られた積層体を焼成することによりガスセンサを製造する方法であって、
前記複数のセラミックグリーンシートのうちの1つである測定電極形成用のセラミックグリーンシートに、測定電極パターンを印刷形成する電極パターン形成工程と、
前記測定電極パターンの上に電極保護層パターンを印刷形成する保護層パターン形成工程と、
を備え、
前記保護層パターン形成工程を、セラミック粉末と造孔剤とが所定の比率で混合された保護層形成用ペーストを用いた単位層パターンの印刷形成を複数回繰り返すことにより行うとともに、
最下層の前記単位層パターンと最上層の前記単位層パターンの少なくとも一方の形成に用いる前記保護層形成用ペースト中の前記造孔剤の比率が、他の層の前記単位層パターンの形成に用いる前記保護層形成用ペースト中の前記造孔剤の比率よりも大きい、
ことを特徴とするガスセンサの製造方法。
IPC (3件):
G01N 27/416
, G01N 27/419
, G01N 27/409
FI (3件):
G01N27/46 331
, G01N27/46 327J
, G01N27/58 B
Fターム (8件):
2G004BB04
, 2G004BD05
, 2G004BF05
, 2G004BF07
, 2G004BF08
, 2G004BF09
, 2G004BG05
, 2G004BM07
引用特許:
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