研究者
J-GLOBAL ID：201101056558989400   更新日: 2024年01月17日

久保田 智広

クボタ トモヒロ | Kubota Tomohiro
ホームページURL (1件)： http://db.tohoku.ac.jp/whois/detail/c5d6507608b6abc1528f063c02cf133e.html
研究分野 (5件)： 電気電子材料工学 ,  ナノマイクロシステム ,  応用物理一般 ,  ナノバイオサイエンス ,  ナノ材料科学
研究キーワード (6件)： 半導体微細加工 ,  プラズマ・ビーム測定 ,  プラズマ・ビーム表面化学反応 ,  semiconductor microfabrication ,  measurement of plsama and beam ,  surface chemical reaction by plasma and beam
競争的資金等の研究課題 (7件)：
  • 2014 - 第一原理理論計算と表面解析によるプラズマ・ビーム表面反応プロセスの機構解明
  • 2014 - Study on plasma/beam surface reaction mechanisms based on first-principles theoretical calculation and surface analysis
  • 2011 - オンウェハモニタリングとシミュレーションの融合によるエッチング形状・ダメージ予測システムの開発
  • 2011 - Development of plasma etching and damage prediction system by combination of on-wafer monitoring and simulation
  • 1997 - 2008 バイオナノプロセスによるシリコンナノ構造作製と解析
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MISC (128件)：
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特許 (8件)：
  • 測定ユニット、中性粒子ビームの測定装置および中性粒子ビームの測定システム
  • ナノドットの作製方法
  • エッチング方法
  • 有機半導体薄膜及び有機半導体薄膜の配向制御方法
  • 測定ユニット、中性粒子ビームの測定装置および中性粒子ビームの測定システム
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講演・口頭発表等 (328件)：
  • 中性粒子ビーム励起錯体反応による遷移金属エッチングメカニズムのTight-binding量子分子動力学法を用いた検討
    (第63回 応用物理学会春季学術講演会 2016)
  • 中性粒子ビーム励起錯体反応を用いた遷移金属エッチングにおける吸着分子の影響
    (第63回 応用物理学会春季学術講演会 2016)
  • Mask less neutral beam texturing to make nano holes on micro pyramids; broadband optical light trapping in thin wafer based Si (<100 μm) solar cells
    (第63回 応用物理学会春季学術講演会 2016)
  • 中性粒子ビーム励起錯体反応による遷移金属エッチングメカニズムのTight-binding量子分子動力学法を用いた検討
    (第63回 応用物理学会春季学術講演会 2016)
  • 中性粒子ビーム励起錯体反応を用いた遷移金属エッチングにおける吸着分子の影響
    (第63回 応用物理学会春季学術講演会 2016)
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Works (6件)：
  • さりげないセンシングと日常人間ドックで実現する理想自己と家族の絆が導くモチベーション向上社会創生拠点
    2013 - 2016
  • さりげないセンシングと日常人間ドックで実現する理想自己と家族の絆が導くモチベーション向上社会創生拠点
    2013 - 2016
  • 次世代超低損傷微細加工プロセス用大口径中性粒子ビーム源の開発
    2012 - 2015
  • 次世代超低損傷微細加工プロセス用大口径中性粒子ビーム源の開発
    2012 - 2015
  • 最先端電池基盤技術コンソーシアム
    2013 -
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学歴 (4件)：
  • - 1999 大阪大学 基礎工学研究科 化学系専攻
  • - 1999 大阪大学
  • - 1995 大阪大学 基礎工学部 合成化学科
  • - 1995 大阪大学
学位 (1件)：
  • 博士(理学) (大阪大学)
経歴 (15件)：
  • 2009 - 2011 東京大学生産技術研究所 特任講師
  • 2009 - 2011 東京大学 生産技術研究所
  • 2011 - - 東北大学流体科学研究所 准教授
  • 2011 - - Institute of Fluid Science, Tohoku University Associate Professor
  • 2007 - 2009 東北大学流体科学研究所 助教
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委員歴 (24件)：
  • 2014 - 2015 第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 論文委員
  • 2014 - 2015 第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 論文委員
  • 2013 - 2014 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 論文委員
  • 2013 - 2014 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 論文委員
  • 2012 - 2014 2014 IEEE International Nanoelectronics Conference 実行委員
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所属学会 (32件)：
第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  電気学会センサ・マイクロマシン部門(E部門)平成23年度総合研究会 ,  第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会 ,  第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  2014 IEEE International Nanoelectronics Conference ,  第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing ,  第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  The 16th IEEE International Conference on Nanotechnology ,  日本物理学会 ,  日本化学会 ,  American Vacuum Society ,  応用物理学会 ,  第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  電気学会センサ・マイクロマシン部門(E部門)平成23年度総合研究会 ,  第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会 ,  第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  2014 IEEE International Nanoelectronics Conference ,  第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing ,  第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  The 16th IEEE International Conference on Nanotechnology ,  The Physical Society of Japan ,  The Chemical Society of Japan ,  American Vacuum Society ,  The Japan Society of Applied Physics
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