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J-GLOBAL ID：201602264945728020   整理番号：16A1319056

第一原理計算により研究した中性粒子ビームとその機構との遷移金属錯体反応エッチング【Powered by NICT】

Transition metal complex reaction etching with neutral beam and its mechanism investigated by first-principles calculation

著者 (3件)： Kubota Tomohiro (Institute of Fluid Science, Tohoku University, Miyagi, Japan) ,  Kikuchi Yoshiyuki (Taiwa Regional Office, Tokyo Electron Limited, Miyagi, Japan) ,  Samukawa Seiji (Institute of Fluid Science, Tohoku University, Miyagi, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： NANO  ページ： 937-940  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 低温度でエタノールガスと酸素とアルゴン中性粒子ビームを用いた遷移金属の最近報告された新しいエッチング法の機構を密度汎関数理論に基づく第一原理計算により調べた。タンタルエッチングを研究した。酸化タンタルと金属タンタルの両方に対するエタノールの吸着ことが分かった。「水素移動」反応はアルゴン中性粒子ビーム衝撃により起り得るし,それは酸化物表面での化学結合を弱める。エッチングプロセスである以下のように(1)金属表面の酸化,(2)エタノールの吸着,および(3)水素移動特に「水素移動」は,酸化が必要である理由である。このような理解は,遷移金属錯体を用いた新しいエッチングプロセスを設計するために有用である。Copyright 2016 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 酸素 ,  酸化タンタル ,  *遷移金属錯体 ,  水素移動 ,  アルゴン ,  タンタル ,  *エッチング ,  衝撃 ,  *遷移金属 ,  低温 ,  密度汎関数法 ,  *中性粒子ビーム ,  金属表面 ,  *第一原理計算 ,  *ビーム ,  脂肪族アルコール

分類 (2件)： 音響信号処理  (BB03050C) ,  システム同定  (IA02040O)

物質索引 (1件)： エタノール

タイトルに関連する用語 (5件)： 第一原理計算 ,  研究 ,  中性粒子ビーム ,  遷移金属錯体 ,  エッチング