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J-GLOBAL ID：201102208348847694   整理番号：11A0467219

並列マイクロプラズマエッチングのためのナノアパーチュア中空チップを有するカンチレバーアレイの作製

Fabrication of cantilever arrays with nano-aperture hollow tips for parallel microplasma etching

著者 (5件)： XIANG W.W. (Univ. Sci. and Technol. of China, Anhui, CHN) ,  WEN L. (Univ. Sci. and Technol. of China, Anhui, CHN) ,  ZHANG Q.P. (Univ. Sci. and Technol. of China, Anhui, CHN) ,  CHU J.R. (Univ. Sci. and Technol. of China, Anhui, CHN) ,  WANG H. (Anhui Univ. Technol. and Sci., Anhui, CHN)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 87  号： 12  ページ： 2475-2481  発行年： 2010年 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズマエッチング ,  アパーチュア ,  中空 ,  作製