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J-GLOBAL ID：201102221574703790   整理番号：11A0836108

フィルタードアークプラズマビームの磁界制御によるドロップレットフリーDLC膜の形成

Preparation of Droplet-Free Diamond-Like Carbon Film by Magnetically Controlled Filtered-Arc-Plasma Beam

著者 (6件)： 奥田浩史 (豊橋技科大) ,  神谷雅男 (豊橋技科大) ,  神谷雅男 (伊藤光学工業) ,  田上英人 (豊橋技科大) ,  須田善行 (豊橋技科大) ,  滝川浩史 (豊橋技科大)
資料名： プラズマ応用科学  (Applied Plasma Science)
巻： 18  号： 2  ページ： 159-164  発行年： 2010年12月 
JST資料番号： L4460A  ISSN： 1340-3214  CODEN： POKAFE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 開発したT字状フィルタードアーク蒸着装置(T-FAD)で発生した炭素プラズマビームに,偏向磁界および回転磁界を印加して,プラズマビームの偏向制御および回転制御を行ってDLC膜を形成した。偏向磁界でプラズマビームを偏向したとき,偏向角は磁束密度の大きさに比例した。回転磁界でも偏向できた。回転磁界の印加では約200mmの領域で均一な膜厚の成膜ができた。偏向磁界を印加した場合ダクト中心軸より上方で成膜するとほぼドロップレットフリーのDLC膜を得ることができた。

シソーラス用語： *イオンめっき ,  *薄膜成長 ,  *DLC膜 ,  回転磁場 ,  磁場効果 ,  磁束密度 ,  密度依存性 ,  膜厚
準シソーラス用語： *アーク蒸着 ,  プラズマビーム ,  回転制御 ,  偏向磁場

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

引用文献 (12件)：

• 1) J. Robertson: Diamond-like amorphous carbon, Mater. Sci. Eng. R, 37 (2002) pp.129-281.
• 2) N. Ohtake (Ed.): Application and Technology of DLC Films, CMC Publishing, Japan, (2007) in Japanese.
• 3) M. Kamiya, H. Tanoue, H. Takikawa, M. Taki, Y. Hasegawa, M. Kumagai: Preparation of various DLC films by T-shaped filtered arc deposition and the effect of heat treatment on film properties, Vauum, 83 (2009) pp.510-514.
• 4) H. Tanoue, M. Kamiya, S. Oke, Y. Suda, H. Takikawa, Y. Hasegawa, M. Taki, M. Kumagai, M. Kano, T. Ishikawa, H. Yasui: Argon-dominated plasma beam generated by filtered vacuum arc and its substrate etching, Appl. Surf. Sci., 255 (2009) pp.7780-7785.
• 5) M. Kamiya, Y. Kawaguchi, H. Tanoue, Y. Suda, H. Takikawa: Optical properties of various Diamond-Like Carbon films fabricated by filtered arc deposition, Journal of IAPS, Vol.17, No.2 (2009) pp. 125-132 in Japanese.

タイトルに関連する用語 (3件)： 磁界 ,  ドロップレット ,  DLC膜