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J-GLOBAL ID：201102252261887494   整理番号：11A1340804

超大規模異種集積化により作製したCMOS駆動電子回路上1メガ画素単結晶シリコンマイクロミラーアレイ

One-Megapixel Monocrystalline-Silicon Micromirror Array on CMOS Driving Electronics Manufactured With Very Large-Scale Heterogeneous Integration

著者 (6件)： ZIMMER Fabian (Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems (IPMS), Dresden, DEU) ,  LAPISA Martin (Royal Inst. Technol. (KTH), Stockholm, SWE) ,  BAKKE Thor (Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems (IPMS), Dresden, DEU) ,  BRING Martin (Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems (IPMS), Dresden, DEU) ,  STEMME Goeran (Royal Inst. Technol. (KTH), Stockholm, SWE) ,  NIKLAUS Frank (Royal Inst. Technol. (KTH), Stockholm, SWE)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 20  号： 3  ページ： 564-572  発行年： 2011年06月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超大規模異種集積化により,CMOS駆動電子回路上に1メガ画素単結晶シリコンマイクロミラーアレイを作製した。このマイクロミラーアレイは,主に単結晶材料としてSiの完全な機械的性質により,ドリフトフリー動作と非常に均一な性質を得た。アナログ高電圧CMOS駆動回路と単結晶シリコンから作製した,100万傾斜型マイクロミラー内臓光変調器の超大規異種模集積化により,1メガ画素高分解能空間光変調器(SLM)チップを初めて実現し,適合した低温接合プロセスにより,極薄単結晶シリコン層とCMOS電子回路を組み合わせることに成功した。実用化可能性の検討結果,そのSLM素子は,良好な光学特性と優れた機械的性質を示した。原理的に,この超大規異種模集積化技術は,単結晶シリコン材料に限定されないため,標準CMOS回路と仮想的に高性能光材料との組合せを利用することを可能にした。

シソーラス用語： 単結晶 ,  *ケイ素 ,  *反射鏡 ,  *MEMS ,  CMOS構造 ,  駆動回路 ,  *超LSI ,  フォトリソグラフィー ,  *空間光変調素子 ,  ウエハ【IC】 ,  ボンディング【IC】 ,  WSI【IC】 ,  画素 ,  グレースケール ,  RIE【エッチング】 ,  動特性 ,  静特性 ,  光干渉法
準シソーラス用語： マイクロミラーアレイ ,  MOEMS

分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

物質索引 (1件)： ベンゾシクロブテン

タイトルに関連する用語 (8件)： 大規模 ,  集積化 ,  作製 ,  CMOS ,  電子回路 ,  画素 ,  単結晶シリコン ,  マイクロミラーアレイ