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J-GLOBAL ID：201102273923209723   整理番号：11A0136763

MFMを応用した高周波近傍磁界計測法に関する基礎研究

Study on development of a measurement technique of high frequency magnetic near field using MFM

著者 (4件)： 遠藤恭 (東北大 工) ,  渡邉政考 (東北大 工) ,  島田寛 (東北大 工) ,  山口正洋 (東北大 工)
資料名： 電気学会マグネティックス研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： MAG-10  号： 199-201.203-212  ページ： 41-46  発行年： 2010年12月16日 
JST資料番号： Z0924A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高周波磁気力顕微鏡(HF-MFM)のICチップ内の放射ノイズ計測への応用を目指して,その基礎検討として自作のMFMと振幅変調方式を組み合わせて,ICチップ内の微細な信号配線と見立てたコプレーナ伝送線路(CPW)上における高周波近傍磁界計測を行った。0.10~80MHzまでの周波数帯域において,CPWに振幅変調信号を入力することで発生する高周波近傍磁界にMFM探針が共振することを確認した。さらに,搬送信号の周波数を10および50MHzと設定し,CPW上で発生する高周波近傍磁界強度の面内分布の観察を行った。

シソーラス用語： *磁場測定 ,  磁気力顕微鏡 ,  半導体チップ ,  振幅変調 ,  *伝送線路 ,  電磁干渉 ,  コプレーナ導波路
準シソーラス用語： *磁界計測

分類 (1件)： 磁気の計測法・機器  (AD07060U)

引用文献 (12件)：

• ITRS 2009 Edition page 16, Figure 4
• T. Sudo, H. Sasaki, N.Masuda, and J. L. Drewniak: “Electromagnetic interference (EMI) of System-on-Package (SoP) ”, IEEE. Trans. Advanced Packaging, Vol.27, No.2 pp. 304-314(2004)
• N. Ando, N. Masuda, N. Tamaki, T. Kuriyama, M. Saito, S. Saito, K. Kato, K. Ohashi, and M. Yamaguchi: “Development of Miniaturized thin-film magnetic field probes for on-chip measurement”, J. Magn. Soc. Jpn., Vol.30, pp. 429-434(2006)
• 岩波瑞樹・山崎悦史・星野茂樹・岸眞人・士屋昌弘:「EMCと磁気応用II--光ファイバ端磁気光学プローブの高性能化とその微細領域磁界/電流分布計測への適用--」, 日本応用磁気学会誌, Vol.28, pp. 853-859(2004)
• M. R. Koblischka, J. D. Wei, T. Sulzbach, and U. Hartmann: “High-frequency MFM characterization of magnetic recording”, Appl. Phys. A, Vol.94, pp. 235-240(2009)

タイトルに関連する用語 (6件)： 応用 ,  高周波 ,  近傍 ,  磁界計測 ,  基礎 ,  研究