特許

J-GLOBAL ID：201103000087984412

プローブ装置

発明者： 富松 聡 ,  小池 英巳 ,  東 淳三 ,  石谷 亨 ,  杉本 有俊 ,  濱村 有一 ,  関原 雄 ,  嶋瀬 朗
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立超エル・エス・アイ・システムズ
代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-222882
公開番号（公開出願番号）：特開2002-040107
特許番号：特許第4408538号
出願日： 2000年07月24日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 試料を載置する試料ステージと、 前記試料に荷電粒子線を照射する照射光学系と、 前記試料より発生する二次電子または反射電子を検出する検出器と、 前記試料に接触させるプローブと、 前記プローブの駆動を制御するプローブ制御部と、 前記検出器からの信号を解析し、前記プローブの前記試料の表面からの高さを決定する解析装置と、 前記検出器からの信号の画像を表示する表示装置とを備え、 前記解析装置は、前記プローブが前記試料の表面から所定の距離まで接近することにより、前記プローブの外縁に沿って出現する前記プローブの影の領域の画像の輝度変化を検出し、前記輝度変化から前記プローブの前記試料の表面からの高さを決定し、 前記表示装置は、前記プローブの前記試料の表面からの高さの情報を表示することを特徴とするプローブ装置。

IPC (6件)：

G01R 31/28 ( 200 6.01) ,  G01N 1/28 ( 200 6.01) ,  G01N 1/32 ( 200 6.01) ,  G01N 23/225 ( 200 6.01) ,  G01R 1/06 ( 200 6.01) ,  H01L 21/66 ( 200 6.01)

FI (7件)：

G01R 31/28 K ,  G01N 1/28 G ,  G01N 1/32 B ,  G01N 23/225 ,  G01R 1/06 E ,  H01L 21/66 B ,  H01L 21/66 S

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 走査型トンネル顕微鏡付き走査型電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-016772   出願人：日立建機株式会社, 株式会社日立製作所
• 不良検査方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-141353   出願人：株式会社日立製作所
• プローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-326328   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平3-235004
  
• 特開平1-130457